NiO基厚膜NO2传感器的研制.pdfVIP

2009正 仪 表 技 术 与 传 感 器 2O09 增刊 Instrument Technique and Sensor supplement NiO基厚膜 NO2传感器的研制 钟铁钢 ，梁喜双，刘凤敏，卢革宇，全宝富 (集成光电子国家重点实验室吉林大学实验区，吉林大学电子科学与工程学院，吉林长春 130012) 摘要：文中分别以化学沉淀法、柠檬酸法和均相沉淀法制备了NiO纳米材料 ，通过XRD方法对所制备材料的晶体 结构进行分析表征。并以上述不同方法制备的NiO为基体材料，Cr20，、WO3为掺杂剂制作 了电导型厚膜NO2气体传感 器。研究了工作温度、掺杂剂等对器件气敏性能的影响。结果表明：掺杂WO 的NiO基厚膜传感器对 NO2有较高的灵 敏度、良好的选择性及响应特性，并且对器件的敏感机理做了初步的分析。 关键词：气体传感器；NO2；NiO；气敏性能 中图分类号：TP212 文献标识码：A 文章编号：1002—1841(2009)增一0143—03 ResearchontheTllickFilm NitrogenDioxidesSensorBasedonNio ZHONGTie—gang，LIANGXi—shuang，LIUFeng—min，LUGe—yu，QUANBao-fu (StateKeyLaboratoryonIntegratedOptoelectronics，CollegeofElectronicScienceandEngineering， JilinUniversity，Changchun130012，China) Abstract：NiO nano—materialwassynthesizedviachemical precipitation，citricacidmethodandhomogeneousprecipitationre— spectively．ThecrystallinestructureofthematerialswereanalyzedbyXRDmethod．Andconductivetypethickfilm NO2gassensors werefabricatedwithNiO whichwassynthesizedbytheobovemethodsasthesensingmaterial andCr203，WO3asthedopingagent． Theeffectsoftheoperatingtemperaturenadadulterantsetconthesensingcharacteristicswereinvestigated．Theresultsshowedthat therewerehighsensitivity，wellselectivityandresponseperformancesfortheNiO basedthickfilm sensortoNO2gas．Andthesens— ingmechanism wasinvestigatedpreliminarilyofrthesensor． Keywords：gassensor；nitrogendioxide；NiO；sensingproperties 0 引言 法制备了NiO纳米材料，并以其为主体材料，Cr20，、WO，为 氮的氧化物很多，其中较稳定且常见的是 NO和 NO：。氮 掺杂剂制作了旁热式烧结型厚膜气体传感器，研究了对 NO 的氧化物主要来源于矿物燃料的燃烧，汽车排放的尾气 ，一些 气体的敏感特性。 有机物的燃烧以及硝酸的制造等过程。NO 不仅能破坏臭氧 1 实验 层，转化成酸雨 ，且在阳光下易与碳氢化合物或挥发性有机物 1。1 主要化学试剂 (VOC)作用，引起呼吸道疾病