OEM压力传感器零点输出失效原因分析.pdfVIP

2009钲 仪 表 技 术 与 传 感 器 2009 增刊 Instrument Technique and Sensor supplement OEM 压力传感器零点输出失效原因分析 徐淑霞，王 彤，胡 竞，马文龙，常 伟 (沈阳仪表科学研究院，辽宁沈阳 110043) 摘要：OEM硅压阻压力传感器是采用半导体平面工艺和微机械加工工艺及传感器专用封装工艺制造的。因此不舍格 传感器的失效原因是很复杂的。在长期从事传感器质量检验过程中，归纳出不合格的主要原因是零点输出发生变化。文 中尝试从半导体工艺原理和制造工艺方面对不合格品的失效原因进行分析，并提 出相应的改进方法。 关键词：压力传感器；零点输出；失效 中图分类号：TP212 文献标识码：A 文章编号：1002—1841(2009)增 -0072—02 AnalysisofFailureinZero-measurandOutputforOEM PressureSensor XUShu—xia，WANGTong，HUJing，MAWen—long，CHANGWei (ShenyangAcademyofInstrumentationScience，Shenyang110043，China) Abstract：Thepaperpresentedisaboutanalysisoffailureinzero—measurandoutputforOEM pressuresensor．Trytofindout reasonswhatmadesensorfailinmnaufacturingprocess．Somemethodsweregiveoutofrprevention． Keywords：pressuresensor；zero—measurandoutput；failure 0 引言 P OEM硅压阻压力传感器以硅压阻效应为压力测量机理， 采用金属隔离、灌充封装结构，具有性能指标高、环境适应性 强、寿命长价格低等特点，广泛用于工业领域各种压力检测。 在制造上 ，压力敏感芯片采用半导体平面工艺与MEMS加工工 艺相融合的技术，封装结构上采用静电封接、隔离膜片焊接， 保护液充灌，充孔封焊等传感器专有的工艺。复杂的制造工艺 图 1 传感器芯体结构不惹图 使传感器的失效几率大大增加。通过对返修传感器不合格现象 间的关系可写成： 统计，发现除了因超允许过载能力使用而造成传感器结构损坏 ，：1． *竺tl*苎t3二*苎-2-苎~4 ㈩ 外，传感器在零负载时输出信号超差是不合格的主要现象，特 。‘ 丽 () 别是 100kPa以下低量程传感器。造成零点输出失效的原因是 理想状态下，4个电阻阻值完全匹配，当压力为零时，输 很复杂的。 出电压为零。因为光刻误差原因，实际桥路电阻问存在偏差， 1 传感器零点输出失效现象 称为零点失调电压。对于OEM传感器来说，通常用串并联电 硅压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应 】原理工作 阻网络对零点失调电压进行补偿 ，使传感器在零负载时，输出 的。不同单晶类型和晶向，压阻系数相差很大，一般采用压阻 电压小于 1mV (1mA激励)。所谓零点输出失效就是各种原 系数较大