一种新型的硅谐振式微传感器频率特性测试系统.pdfVIP

2009钲 仪 表 技 术 与 传 感 器 2o09 增刊 Instrument Technique and Sensor supplement 一 种新型的硅谐振式微传感器频率特性测试系统 汤章阳 ，樊尚春 ，蔡晨光 (1．北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院，北京 100191；2．中国科学院传感技术联合国家重点实验室，上海 20oos0) 摘要：针对硅微机械谐振式压力传感器，设计了一种新型的专用频率特性测试系统，采用直接相关原理进行微弱信 号检测，简化了模拟电路设计；提出了分时正交的检测方法解算被测样件的幅频、相频特性。实验结果表明：系统实现 了对硅微机械谐振式压力传感器的幅频和相频特性的同时测量，实测结果与理论值符合，不仅给 出了闭环设计的必要参 数，同时为加工工艺的改进提供了重要信息。 关键词 ：谐振式传感器；频率特性测试；微弱信号检测；相关检测；正交检测 中图分类号：TP216．1 文献标识