低损耗乐甫波传感器的实验研究.pdfVIP

2009正 仪 表 技 术 与 传 感 器 增刊 Instrument Technique and Sensor 低损耗乐甫波传感器的实验研究 程利娜，刘明华，李红浪，何世堂 (中国科学院声学研究所，北京 100190) 摘要：文中采用单相单向叉指换能器 (SPUDT)降低乐甫波传感器的双向损耗，并从实验方面研 究了SPUDT结构 反射中心位置对器件损耗的影响。乐甫波传感器的多层波导结构改变了常规的EWC／SPUDT (控制栅条宽度的SPUDT) 的反射系数和换能系数 ，不能实现完全的单向传播，从而使传感器损耗变大。文中通过调整反射栅的位置，来改变反射 中心和换能中心的间距L，通过实验的方法分析 对损耗的影响，得到 了间距 与器件损耗之间的关系。文中实验基片 采用ST一90。x石英，铝电极厚度为0．77％A (A为SPUDT周期)，声波导材料为二氧化硅，厚度为0．0128A，L大小范 围为 (3／8—1／9)A到 (3／