原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
带动态反应池的电感耦合等离子体质谱仪分析半导体级四甲基氢氧化铵.pdf
应用报告 I
Perkin
两r婊 ＆船
带动态反应池的电感耦合等离子体质谱仪分析半导体级四甲基氢氧化铵
DeterminationofSemiconductorGradeTetramethylammonium Hydroxideby
InductivelyCoupledPlasma—M assSpectrometrywithDynamicReactionCell
陈建敏 ，游维松
(珀金埃尔默仪器上海有限公司北京办事处，北京 100022)
四甲基氢氧化铵 (TMAH)是一种澄清、水溶性好、碱性 (PerkinElmerPure，PerkinElmerInc．，Shelton，CTUSA)。
强的有机溶剂，作为显影液广泛使用在半导体及液晶显示器 TMAH通常浓度是 25％，前处理 时将样品稀 释5倍，
(LCD)产业的光刻制程中。由于TMAH的用途广泛，对于 即在水溶液中浓度为5％。
其中杂质含量 的分析至关重要。在 SEMIC46～03061标
二lB№垤 Kc3 v ：
准…中明确给出了25％(质量分数，下同)的TMAH中杂质 表 1 ELAN~DRC ICP—MS仪器工作参数和进样附件
含量的限值，即每个元素含量在 10ng／g以下；但是有些用 工作参数 数值 附件 规格
¨ ∞勰
户提出了杂质含量低于此限值的需求。 等离子体气流量 16L／rain 雾室 石英旋流
S S S
电感耦合等离子体质谱仪 (ICP—MS)由于其快速分析 辅助气流量 1．7L／rain 矩管 高性能矩管
射频功率 1500W 喷射管 铂金
的能力、高通量性、对制程中各种化学品的适应性，已成为质
积分时间 1s／质量数 采样锥 铂金
量监控必不可少的经典工具。在实际分析中，应用 ICP—MS 截取锥 铂金
技术需要高度关注样品基体形成的多原子干扰和高碳含量 雾化器 PFA—i(30
文档评论（0）