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第四章 电容型传感器与测量电路 * 4.1工作原理及结构类型 4.1.1 工作原理 电容式传感器实质上是一个可变参数的电容器。由物理学可知，用绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器(如图4-1所示)，当忽略边缘效应时，电容量可表示为 图4-1 平板电容器 (4-1) 由式(4-1)可知，当A、δ或ε任意参数发生变化时，都会引起电容量C的变化。实际制作电容式传感器时，都是尽量使A、δ或ε三个参数中的两个保持不变，仅改变其中一个参数使电容量发生变化。根据这一原理，电容式传感器可分为三种类型：变极距式、变面积式和变介电常数式。 4.1.2 结构类型 图4-2所示为常用电容式传感器的结构形式。图4-2(a)和(b)为变极距式，图4-2(c)～(h)为变面积式，而图4-2()～()则为变介电常数式。 变极距式一般用来测量微小位移(0.01～0.1μ m)，变面积式则用来测量角位移或较大的线位移，变介电常数式常用来测量介质的厚度、位置、液位以及成分含量等。 图4-2 电容式传感器的结构形式 4.1.3 变极距型电容传感器 图4-3为这种传感器的原理图。当传感器的εr和A为常数，初始极距为δ0，由式(4-2)可知其初始电容量C0为 当动极板因被测量变化而向上移动使δ0减小Δδ时，电容量增大ΔC，则有 当Δδδ0时，