钛酸锶钡_BST_薄膜组成_结构与性能的研究进展.pdfVIP

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2017-09-01 发布于安徽
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第 23 卷　第 4 期真　空　科　学　与　技　术　　　　　　　　　　 ( ) 　　　　　　　　　　　　　　 2003 年 7 、8 月 VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY CHINA 255 综述评论　 ( ) 钛酸锶钡 BST 薄膜的组成、结构与性能研究进展符春林　杨传仁　陈宏伟 ( 电子科技大学微电子与固体电子学院　成都　610054) Latest Progress of Barium Strontium Titanate Fil m : Stoichiometries , structures and Properties Fu Chunlin ,Yang Chuanren and Chen Hongwei ( Institute of Microelectronics Solid State Electronics , University of Electronic Science Technology of China , 610054 , P. R . China) ★★ ( ) Abstract 　Barium strontium titanate BST film ,as an important ferroelectric material ,has become an extensively studied subj ect of much basic and technological interrest . The latest progress on various aspects of the subj ect ,including its growth techniques ,its microstructures and its properties ,were tentatively reviewed in a thought provoking way. The discussion also involves some technical problems to be solved. 　　Key words 　Barium strontium titanate , Ferroelectric thin film , Substrate , Electrode , Grain boundary , Interface ,Di electric property ★★ ( ) 摘要　钛酸锶钡 BST 薄膜是一种重要的铁电薄膜 ,应用广泛 ,是高新技术研究的前沿和热点之一。简要介绍了BST 薄膜的制备方法和应用 ,对此薄膜的基片、电极、晶界、界面、热处理、膜厚及组成、结构、性能等方面作了重点讨论 ,提出了研究中需要解决的一些问题。关键词　钛酸锶钡　铁电薄膜　基片　电极　晶界　界面　介电性能 ( ) 中图分类号 :TN304 ;O485 　　　文献标识码 :A 　　　文章编号 2003 　　铁电薄膜是指具有铁电性且厚度尺寸为数十纳