单频纳米激光干涉仪非线性误差及其修正方法.pdfVIP

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2017-08-31 发布于安徽
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单频纳米激光干涉仪非线性误差及其修正方法.pdf

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第27卷第3A期计量学报 27． No3A 2006年9月 ACIAMEll甩0IDGICASINICA September，2006 单频纳米激光干涉仪非线性误差及其修正方法高宏堂，高思田，邵宏伟 (中国计量科学研究院，北京100013) 摘要：介绍了单频纳米激光干涉仪的非线性误差，分析了各种典型的单频激光干涉仪非线性误差修正方法，如 Heydemann方法、频谱分析方法、基于干涉信号波峰和波谷的方法、基于神经网络的NN方法。在基于干涉信号波峰和波谷的方法的基础上，提出了一种改良方法(P方法)，试验结果表明，P方法具有运算简单、误差修正精度高和抗干扰性能较强等优点，可以在非计量环境下用该法对干涉仪的非线性误差进行修正，实用价值较大。关键词：计量学；单频激光干涉仪；非线性误差；误差修正；纳米测量中图分类号：TB92 文献标识码：A 文章编号：1000—1158(2006)3A-IXE6—05 ErrorandtheCorrectionMethodfor Nonlinearity Homodyne LaserI nterferometerwithNanometerAccu racy GAO GAO SHAO Hong-tang，Si-tian， Hong-wei (NationalInstituteof 100013，China) Metrology，Beijing withnanometeriS itscorrectionmeth— Abstract：711le errorin interferometer described，and nonlinearityhomodyne accuracy asthe methodbasedonthe ofinterference methodbasedonthe and ods，suchHeydemannMethod，the spectrum sisnal，the peak valveof themethodbasedonneuralnetworkare onthe interfereNce method(Pmethod)based sisnal，and analysed．Animproved andvalveof iS resultsshowthatthePmethodhastIleadvan— methodofthe interferenceintroduced．弧e peak sisnal experiment forits errorcorrectionwith and resistance of computing，nonlinearityhighprecisiongood capabilitydisturbing，etc． tages simple