电容式微加速度传感器现状及的研究方向.pdfVIP

7一 电容式般加速度传感器的现状及研究方向——尤 晖 享川奇 沈连官等 电容式微加速度传感器的现状及研究方向 摘要 综述 j典 并对这类传惑器的若 关键词 中国图书资料分 究生 6 现代科技要求加速度传感器廉价、性能优越、 多采用闭环方式 。 易于大批量生产。在诸如军工、空间系统、科学测 1．1 开环立体硅工艺电容式微加速度传感器 量等领域，需要使用体积小、重量轻、性能稳定的 图1是开环立体硅工艺电容式微加速度传感 加速度传感器。以传统加工方法制造的加速度传 感器难以全面满足这些要求。于是应用新兴的微 机械加工技术制作的微加速度传感器应运而生。 这种传感器体积小、重量轻、功耗小、启动快、成本 官 作 呐一 低、可靠性高、易于实现数字化和智能化 “)。而且， ～一～一一～～ 由于微机械结构制作精确、重复性好、易于集成 周 统一 化、适于大批量生产，它的性能价格 比很高。可以