含氮氟化类金刚石_FN_DLC_薄膜什么研究_射频功率对薄膜光学带隙影响.pdfVIP

56 3 2007 3 Vol. 56, No. 3, March, 2007 10003290200756(03)180906 ACTA PHYSICA SINICA 2007 Chin. Phys. Soc. ( FNDLC) : ( ) 1)2) 1) 1) 2) 肖剑荣 徐 慧 郭爱敏 王焕友 1) ( , 410083) 2) ( , 410083) ( 2006 728; 2006 8 29 ) CF , CH N , , 4 4 2 . , . , , . ,