拱架机器人变增益H∞鲁棒控制.pdfVIP

拱架机器人的变增益H 鲁棒控制1 ∞ 吴金波，尹周平，熊有伦 华中科技大学机械学院，湖北武汉（430074 ） 摘 要：本文研究了应用于半导体后封装设备中，由同步带驱动的两自由度拱架机器人的建 模与变增益 H∞鲁棒控制问题。此拱架机器人提供了两个相互垂直方向的运动，即沿梁运动 的贴装头（x 方向）和沿基座运动的梁（y 方向），其中y 向动力学建模为一线性变参数系 统，而贴装头在x 轴的位置作为系统的变参数。模型考虑了同步带驱动系统的动力学特性， 贴装头与导轨间连接的横向柔性，梁与导轨间连接的扭转柔性。为使梁在y 方向得到快速精 确的定位，本文设计了当贴装头在x 方向移动时，作为一线性变参数系统的柔性梁的定位控 制方法。采用严格的等价变换将一类通用的线性变参数系统描述模型变换为一简化模型，在 引入“变 H∞性能”的概念后，将控制器的设计问题转换为满足线性矩阵不等式约束的参数矩 阵的求解问题，并给出了无需变参数变化率反馈的变增益全阶输出反馈H∞控制器设计方法。 然后基于“H∞性能覆盖”的概念，给出了保H∞性能的插值方法；最后将所提算法应用于拱架 机器人y 向动力学模型上，仿真结果表明：此控制器设计方法有效降低了控制器设计的保守 性。 关键词：拱架机器人；线行矩阵不等式；H 性能覆盖；变增益H 控制；严格的系统等价 ∞ ∞ 1. 引言 [1] [2] 拱架机器人广泛地应用于各种精密制造领域，例如表面贴装设备 、半导体封装设备 等。拱架机器人的简化模型如图 1 所示，接头和贴装头由两个不同的伺服电机通过同步带进 行驱动，两条线性光栅尺分别测量接头在y 向的位移和贴装头在x 向的位移。本文主要针对 拱架机器人的y 向动力学进行分析和研究。为了避免了双边驱动的高精度同步控制和复杂的 结构，拱架机器人采用了单边驱动的形式，但是单边驱动也存在不足，由于质心偏置而驱动 力不通过质心，工作中将产生不对称的惯性力，而工业中经常使用的滚珠线性滑轨的刚度有 限，因此，会使工作台出现振动加剧、变形和倾斜等不利情况。对半导体封装设备，要求拱 架机器人能驱动贴装头快速地从一个位置移动到另一个位置，并使贴装头处的稳态调节时间 最短。 为了克服拱架机器人由单边驱动所引起的振动问题，一个很自然的思路是增加系统刚 性，使系统象刚体一样运动，但这势必增加了系统质量，需要大功率的驱动器才能获得良好 的控制性能。另一种思路是限制系统运动部件的质量，允许具有一定的柔性，通过选择适当 的传感器、驱动器和控制算法，使系统依然获得良好的性能[3] 。这一更现代的设计策略显然 需要精确的建模技巧和模态分析方法。 1本课题得到国家重点基础研究发展计划(973)专项经费 （No. 2003CB716207 ）和国家自然科学基金项目 （No. No.）的资助。 - 1 - 直线导轨 直线导轨 同步带 F 接头 贴装头 y x 图 1 拱架机器人简化模型 Yang 和 Taylor[4,5