一种新型体硅谐振加速度计设计.pdfVIP

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2017-08-31 发布于安徽
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一种新型体硅谐振加速度计设计.pdf

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第卷第期半导体学报 26 2 Vol.26 No.2 年月 2005 2 C~INESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS Feb. 2005 Bulk-silicOn ResOnant AccelerOmeter% 1 1 2 Jia Yubin ~ao Yilon and Zhan Ron g g g C 1 Instituteo \icroelectronics Pekin UniUersit Bei in 100871 China f g S j g C 2 De artment o Precision \easurement Technolo and Instrument Tsin huaUniUersit Bei in 100084 China P f gS g S j g : Abstract Resonant accelerometer is desi ned Which includes tWo double-ended tunin forks a roof mass four-le- g g p vera e s stem am lif in inertial force