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工艺·装备 电加工与模具)2009年第3期
太阳能硅片切割技术的研究
刘志东，邱明波，汪 炜，田宗军，史 勇，王振兴
(南京航空航天大学机电学院，江苏南京210016)
摘要：简述了太阳能硅片常用的切割方法及特点，指出电火花线切割由于其适合大厚度、超薄
切割等特点，将成为太阳能硅片切割的一个研究热点。但因半导体特殊的电特性，目前常规电火花
线切割工艺还不能胜任太阳能硅的切割。研究了太阳能硅材料的放电加工模型。提出了电火花线
Q·cm的P型太
切割太阳能硅片的思路和工艺方法，并采用改进的脉冲电源首次对电阻率为2。1
阳能硅进行了切割试验。切割效率欠于100删≈／min。
关键词：硅；太阳能；电火花；线切割
中图分类号：T(X61文献标识码：A
．11le forSolar
Researchof TechniqueSilicon
Slicing Ingot
Liu Wei，TianZongjun，ShiYong，WangZhenxing
Zhidong，QiuMingbo，Wang
ofAeronauticsand 210016，China)
(NanjingUniversity Astronautics，Nanjing
discussesthe andcommonmethods solarsiliconwa—
Abstract：This characteristic of
paper slicing
with
oUtitwillbea of solarsiliconwaferslicedWEDMcharacter—
fer，pointing hotspotresearching by
isticsof andultra．thin ofnomacro forceandsuitablefor
large thickness，becausecutting cuttinghigh
thicknessin methodof withWEDMcan’t the
slicing satisfy
machining．However。conventional
with electriccharacteristicof afterre—
of solarsiliconspecial semi—conductor，so
requirementslicing
the modelofsolarsiliconmaterial，this theideaand
searchingdischargemachining paperproposes
methodofsolarsiliconwafersliced
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