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准分子激光等离子体开关控制脉宽研究.pdf
第 卷 第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ,
18 7 Vol.18No.7
年 月 ,
2006 7 HIGH POWER LASER AND PARTICLE BEAMS Jul.2006
文章编号: ( )
1001-4322 200607-1090-05
准分子激光等离子体开关控制脉宽研究*
李红霞, 楼祺洪, 董景星, 魏运荣
(中国科学院 上海光学精密机械研究所,上海 )
201800
摘 要: 利用准分子激光等离子体技术,在紫外预电离 准分子激光器上获得了最短 的短
XeCl 1.58ns
脉冲激光输出。实验中分析了聚焦到薄膜表面的光束能量密度对所产生的等离子体密度的影响,并对不同等
离子体密度及维持时间情况下脉冲压缩效果进行了讨论,给出了激光器谐振腔在稳定腔及非稳腔两种工作方
式下的实验结果。激光器在稳定腔工作时,脉宽可压缩至 ;采用非稳腔结构时,在脉冲能量不变情况下
2.87ns
减小聚焦光斑面积,提高入射到薄膜表面的能量密度,得到了最短 的短脉冲激光输出。该技术适用于
1.58ns
任何其它准分子器件。
关键词: 准分子激光; 等离子体; 脉冲压缩; 谐振腔
中图分类号: TN248.22 文献标识码: A
高功率紫外准分子激光在许多领域中已获得了广泛的应用,其中包括非线性光学、光化学、半导体工艺加
工、材料处理及医学等。不同的应用对准分子激光脉冲宽度有不同的要求,而将放电型准分子激光器脉宽(通
常为 )的输出脉冲缩短至 量级也已成为满足激光驱动核聚变驱动源前级振荡器的需要。 已发展
15 60ns ns
～
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的使准分子器件产生短脉冲的方法包括:主动锁模 或被动锁模 法,需要长的脉冲持续时间(大于 )来
60ns
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