光学学报纳米半球微镜阵列结构对GaN基LED光提取效率影响.pdfVIP

第 卷 第 期 光 学 学 报 ， ３２ １２ Ｖｏｌ．３２ Ｎｏ．１２ 　 　 　 　 年 月 ， ２０１２ １２ 犃犆犜犃犗犘犜犐犆犃犛犐犖犐犆犃 犇犲犮犲犿犫犲狉 ２０１２ 纳米半球微镜阵列结构对 基 光 犌犪犖 犔犈犇 提取效率的影响 ， １２ １ １ １ １ 王晓民 李 康 孔凡敏 张振明 高 晖 　 　 　 　 　 　 １ 山东大学信息科学与工程学院，山东 济南 ２５０１００ （ ２ 山东大学附属省立医院，山东 济南 ２５００１４ ） 摘要 为了分析表面纳米半球微镜结构对 基发光二极管（ ）光提取效率的影响，利用时域有限差分法 ＧａＮ ＬＥＤ 　 （ ）分别对 、 、 、聚苯乙烯组成的半球微镜结构进行了分析和比较，同时用模式分析方法从理论上 ＦＤＴＤ ＧａＮ ＺｎＯＳｉＯ２ 对 ＦＤＴＤ计算结果进行了进一步验证。研究发现，在亚波长范围，折射率较小的材料不利于导模与表面结构层的 耦合，不会对光提取效率的提高产生明显影响。相比之下，折射率较大的材料会使更多的模式耦合到半球微镜阵 列层，更有利于光提取效率的提高；当材料选定，纳米半球半径增加时，光提取效率也逐渐增加，优化后半径为 的半球微镜阵列结构 基 ，其光提取效率比没有结构的普通平板 增强 倍，在以上波导材 ６００ｎｍ ＧａＮ ＬＥＤ ＬＥＤ ５．６６ 料结构中最为优化。在此基础上，通过等效折射率的计算得到半球微镜结构的等效折射率模型，并利用非对称平 板模式分析的办法对以上得到的结论进行了分析和验证。这些结果对实际的高性能 基 的设计与优化具 ＧａＮ ＬＥＤ 有重要意义。 关键词 光学器件；发光二极管；时域有限差分法；光提取效率；半球微镜结构；模式分析 　 中图分类号 文献标识码 ： ／ Ｏ４７２ Ａ 犱狅犻１０．３７８８犃犗犛２０１２３２．１２２３００１ 　 　　　 　 　　　 犈犳犳犲犮狋狅犳犛狋狉狌犮狋狌狉犲狅犳犖犪狀狅犎犲犿犻狊犺犲狉犲犕犻犮狉狅犾犲狀狊犃狉狉犪 狆 狔 狅狀犔犻犺狋犈狓狋狉犪犮狋犻狅狀犈犳犳犻犮犻犲狀犮 狅犳犌犪犖犔犈犇 犵