CVD 法制备高纯钛工艺优化.docVIP

CVD法制备高纯钛的工艺优化 （贵州大学 材料与冶金学院，贵阳 550025） 摘要：采用正交试验研究了钛卤盐热裂解法生产高纯钛的工艺条件。各因素对产率影响程度依次为低温区（卤化源区）温度基底截面直径卤化剂用量高温区（热裂解区）温度。优化的工艺参数为：卤化剂用量600 g左右基底截面直径6 mm低温区和高温区温度分别控制在00~700 ℃和1 100~1 300 ℃。在最优条件下产品经电子束熔炼后，纯度可以达到99.998%。关键词：CVD；卤化法；高纯钛；正交试验 中图分类号：TF823 文献标志码：A 文章编号：1007-7545（2014）09-0000-00 Process Optimization for Titanium Purification by Chemical Vapor DepositionWANG Rui, TANG Xiao-ning, CHEN Xiao-hu, LI Ji-wei, LI Ming-xin (College of Materials and Metallurgy, Guizhou University, Guiyang 550025, China) Abstract: The optimal process conditions of titanium purification by thermal decomposition o