单晶炉导流筒、热屏及炭毡对单晶硅生长影响的优化模拟89373.pdfVIP

　第 39卷 第 2 期 　 　　 　　　　　　人 　工 　晶 　体 　学 　报　　　 　　 　 　Vol. 39　No. 2 　 20 10年 4 月 　　　　　　　　 JOURNAL OF SYN TH ETIC CRYSTAL S 　　　　　　 Ap ril, 20 10 单晶炉导流筒 、热屏及炭毡对单晶硅 生长影响的优化模拟 1 1 2 苏文佳 ,左 　然 , V ladim ir Kalaev ( 1. 江苏大学能源与动力工程学院 ,镇江 2 120 13; 2. STR Group , St. P