弛豫铁电体陶瓷的研究进展.pdfVIP

维普资讯 第 11卷 第 3期 混 合 微 电子 技 术 Vo1．11 No3 弛 豫 铁 电体 陶 瓷 研 究 进 展 吻Jfie3) ……究所 7 — ‘ 摘要 报道 了近年来弛豫铁电体陶瓷在制备、模型和相 图方面 的研究。着重介绍钶铁矿法 、 和 Pb(ZnlNb2 ) 一Pb(Fez／3Wl) 一PbfFeI／2Ni『) 体系。 艘 词 ， 习 言 硼I 制二¨ 1958年 合 成 了 Pb(Mg1 Nb2 )q 以 (1)钶铁矿法l， sj：又称二步煅烧法和 来 ，这类铅基钙 钛矿结构弛豫体成 了广泛研 B 位前体法 。由于合成 Pb(Mg】月Nb2) 究、技术上重要的铁 电氧化物。全部弛豫铁 (PMN)经常出现烧绿石 相l6J和 zn2 离子 电体．介电常数有一个弥散 的与频率有关的 半径较大 (74nm)，大气 压下一 次烧结不能 最大值．晶体结构 中存在某些类型定域无 合成 Ph(Zn Nb2，3)03 ，而采用钶铁矿法 序…。1970年 以来 ，报道 了很多弛豫体和正 第一 步将 除铅 以外 其 他 成 分合 成 ，如 ：Ph 常铁 电体 混 合 体 系 的研 究 ，如：Pb(Zn (NilNb2n)03一PbTi03 PbZr03 (PMN Nb2,3)03一PbTi03 (PZN—Frr)等 ．它们有高 PT PZ)，先制备含镍 、铌 、钛和锆氧化 物的 的介电、压电和耦台系数 J 1995年后有单 B一位前体 ，再加 PbO烧成钙钛矿结构 j 晶报道 ，如 ：PZN 和它与 PT的固溶体 ．与多 对于 PMN，煅烧 MgO，Nb2O5得到钶铁矿结 晶态 比较 ．在 电场诱 发应 变 ，径 向耦台系数 ， 构 MgNI~06，再 与 PbO 反应 得 到钙钛 矿结 压电系数 和介 电损 耗上都得 到改善l3J。同 构 PMN[。 时报道有高度定 向的结 晶薄膜 ，如 ：Pb(Mg。 (2)一步煅烧法 ：加 MgtN03 )2水溶 zn)13／Mb2／303 ．高度 (100)定 向后热 电系数 液到 PbO和 Nb205的酒精泥浆 中，烘干后经 和热电品质 因数都得到提高_4J。这些陶瓷 950℃ ．2h煅烧 可 得 PMN 粉 末 。900℃ ，2h 在定位器 ，测热器 ，红外探测器 ，微定位器 ，压 粉末烧结后密度大于理论值的96％ 室温介 电、电致伸缩 、超声转换器和执行器中得到或 电常数 13800(1kHz)，损 耗 005％，比 电阻 有潜在 的应用。另有非钙钛矿结构的弛豫铁 2 4×1010n ·crn 电体 ，如铈掺杂的 Sr06 Nb206，在高于介 (3)熔盐合成 … ：有扩散系数高 、制备温 电常数最大值温度 时仍保持压 电谐振 一 度低 、反应时间短 的优 点。可控制颗粒形态 ． 本文将扼要介 绍钙钛矿型弛豫铁 电体陶瓷近 得到 晶粒定 向的适合铸带工艺 的陶瓷膜 年来 的研究进展 。 如 ：PbO．Mg0，Nb2Os与 KCI混合 ，800V ．4h - I 一