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Vo1．34 高等 学校 化 学 学报 No．3 2013年3月 CHEMICALJOURNAL OFCHINESEUNIVERSITIES 532～537 doi：10．7503／cjc 溶胶-凝胶法在聚酰亚胺衬底上 制备C轴取向ZnO薄膜 蒋里锋，冯魏 良，黄 培 (南京工业大学化学化工学院，材料化学工程国家重点实验室，南京210009) 摘要 通过溶胶一凝胶工艺，采用两步加热法在聚酰亚胺表面制备了具有c轴取向的ZnO薄膜．通过差式扫 描量热一热重分析(DSC—TGA)得出最佳的前热处理温度和后热处理温度分别为300和390℃．通过X射线衍 射 (XRD)和扫描电子显微镜 (SEM)对薄膜的晶体取向和表面形貌进行了分析，描述了ZnO薄膜在聚酰亚胺 上的生长过程．拉伸实验结果表明，ZnO薄膜与