基于开关电容技术压力传感器接口电路与研究.docVIP

合肥通用职业技术学院 毕业论文 题目：基于开关电容技术的压力传感器接口电路的研究 学院：合肥通用职业技术学院 专业：检测技术及应用 班级：检测801 学生：尹丽美 学号指导老师：汪琴芳 二0一一年二月十六日 基于开关电容技术的压力传感器接口电路的研究 《摘　　要: 介绍了一种单片集成电容式压力传感器接口电路,该电路基于电容-频率转化原理,并通过差频消除了温度变化和工艺波动对电路性能的影响.使用Pspice对接12电路的误差特性进行了分析,并依据仿真结果确定了电路的相关参数.最后给出电路的测试结果,测试结果与仿真结果一致,在80～110 kPa量程内,接口电路的分辨率为3.77 Hz/hPa. 关 键 词: 微机电系统单片集成电容接口电路电容-频率转化电容式压力传感器测试结果接口电路设计张弛振荡器仿真结果阈值电平 　An interface circuit based on the principle of capacitance-frequency conversion of the capacitive pressure sensor was introduced.The influences of the fluctuation of temperature and process were eliminated in virtue of differential-frequency circuit.The error characteristic of the interface circuit was analyzed by Pspice,in terms of which the parameters of the circuit are confirmed.The measure of the circuit was presented.The measure results accord with Pspice simulation,the revolution of the circuit is about 3.77 Hz/hPa in 80~110 kPa.【Keyword】：MEMS;monolithic;capacitive interface circuit;capacitance-frequency conversion ...... 1 引 言 电容式传感器是将被测的非电量变化转换为电容量变化的一类传感器,它广泛应用在压力、湿度、温度和加速度等测量中。随着微电子机械系统(MEMS)设计与加工技术的不断进步,已研制出包括微型压力传感器、湿度传感器、加速度计,化学和生物传感器等产品。在国内,尚无成熟的电容传感器接口集成电路投入市场。电容式传感器简介　把被测的机械量，如位移、压力等转换为电容量变化的传感器。它的敏感部分就是具有可变参数的电容器。其最常用的形式是由两个平行电极组成、极间以空气为介质的电容器图。若忽略边缘效应，平板电容器的电容为εA／δ，式中ε为极间介质的介电常数，A为两电极互相覆盖的有效面积,δ为两电极之间的距离。δ、A、ε 三个参数中任一个的变化都将引起电容量变化，并可用于测量。因此电容式传感器可分为极距变化型、面积变化型、介质变化型三类。极距变化型一般用来测量微小的线位移或由于力、压力、振动等引起的极距变化(见电容式压力传感器)。面积变化型一般用于测量角位移或较大的线位移。介质变化型常用于物位测量和各种介质的温度、密度、湿度的测定。 70年代末以来,随着集成电路技术的发展,出现了与微型测量仪表封装在一起的电容式传感器。这种新型的传感器能使分布电容的影响大为减小，使其固有的缺点得到克服。电容式传感器是一种用途极广，很有发展潜力的传感器。电容器传感器的优点是结构简单,价格便宜，灵敏度高,过载能力强，动态响应特性好和对高温、辐射、强振等恶劣条件的适应性强等。缺点是输出有非线性，寄生电容和分布电容对灵敏度和测量精度的影响较大，以及联接电路较复杂等。电容式传感器可用来测量直线位移、角位移、振动振幅，尤其适合测量高频振动振幅、精密轴系回转精度、加速度等机械量；还可用来测量压力、压差、液位、料面、成分含量(如油、粮食中的含水量)、非金属材料的涂层、油膜等的厚度，测量电介质的湿度、密度、厚度等等，在自动检测和控制系统中也常常用来作为位置信号发生器。 使用Pspice对电路特性进行模拟，图2给出了接口电路的误差特性曲线。从图2中可以看出：参考频率为100 kHz左右时，电路输出相对误差较小；参考频率与传感器频率之差越小，电路的输出精度越高。设计电路时，通过调整充放电电流I，使得参考频率工作在100 kHz左右，同时通过合理设置参考电容Cr的大小，使得传感器频率和参考频率差值尽可