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第 34 卷 第 2期 人 工 晶 体 学 报
Vo l. 34 No. 2
2005年 4 月 JOURNAL OF SYN TH ETIC CRYSTAL S Ap ril, 2005
双折射雕塑薄膜的研究进展
1, 2 1, 2 1, 2 1 1 1
王素梅 , 王建国 , 付小勇 , 范正修 , 贺洪波 , 邵建达
( 1. 中国科学院上海光学精密机械研究所 ,上海 20 1800; 2. 中国科学院研究生院 ,北京 100039)
摘要 :倾斜沉积技术制备的雕塑薄膜是一种新型的、具有各向异性结构的薄膜材料 。根据基片旋转方式的不同 ,可
得到螺旋状 、S 形状 、C形状 、弯曲柱状等不同结构的薄膜 ,并且出现了晶体中的双折射现象 。雕塑薄膜可以实现各
向同性薄膜无法实现的光学性质 ,为光学薄膜的设计与制备开辟了新的途径 。本文综述了雕塑薄膜的制备方法 ,
分析了雕塑薄膜的微结构与双折射特性 ,并阐述了其在光学领域内的应用潜力 。
关键词 :雕塑薄膜 ;倾斜沉积 ;双折射 ;各向异性
中图分类号 : O484 文献标识码 : A 文章编号 : 1000985X (2005)
Research Progress in B irefr ingen t Sculptured Th in F ilm
1, 2 1, 2 1, 2
WAN G S u m ei , WAN G J ian g uo , FU X iaoy ong ,
1 1 1
FAN Z heng x iu , HE H ong bo , SHA O J ian da
( 1. Shanghai In stitu te of Op tic s and F ine M echan ic s, Ch inese A cademy of Sciences, Shanghai 20 1800 , Ch ina;
2. Graduate School of Ch inese A cademy of Sciences, B eij ing 100039, Ch ina)
(R eceived 1 N ovem ber 2004)
A b stract: Scu lp tu red th in film grown by glancing angle depo sition techn ique is a new typ e of engineered
co lum nar th
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