铝阳极化皮膜之显微组织与电化学特性的研究.pdfVIP

第 9 卷 　第 2 期 电化学 Vol. 9 　No. 2 2003 年 5 月 EL ECTROCHEMISTR Y May 2003 ( ) 文章编号 :1006-3471 2003 02-0139-08 铝阳极化皮膜之显微组织与电化学特性研究 1 2 2 1 张仍奎 ,廖启民 ,陈志雄 ,蔡文达 ( 1. 成功大学材料科学及工程系 ,台湾 台南 70101 ; 2. 中国钢铁公司新材料研究发展处 , 台湾 台南) ( ) 摘要 : 　利用超薄切片技术 ultramicrotomy 制作铝阳极化成箔之横截面切片 ,于穿透式电子显微 ( ) 镜 TEM 下对氧化铝介电皮膜厚度 ,型态 ,成份与微结构进行观察与分析 ,并探讨其与皮膜电化学 特性表现之关联性. 于 85 ℃己二酸铵水溶液中进行铝阳极化成处理. 当电压低于 100 V 时 ,所成 长之介电层为非晶质氧化铝皮膜 ,其电阻值随化成电压升高而增加 ,但介电常数不受化成电压之 γ 影响. 当化成电压超过 100 V 时 ,结晶状的 ′-Al O 开始出现 ,且其产生的量随电压值的提高而不 2 3 断增加 ,结晶化的过程造成皮膜中缺陷与裂缝产生 , 以致皮膜电阻逐渐降低,但平均介电常数却有 γ 明显随皮膜中 ′-Al O 增加而升高的趋势. 化成电压达到 200 V 时 ,介电皮膜之结构明显可分为两 2 3 γ 层 ,包括内层非晶质氧化铝与外层结晶性 ′-Al O ;其电化学交流阻抗行为亦显示界面双电容组件 2 3 γ 特性 ,结晶性 ′-Al O 层的电阻较低 ,但比非晶质氧化铝层具较高电容值. 2 3 关键词 : 　阳极化;介电膜 ;超薄切片技术 ;穿透式电子显微镜 O 646 　　　　　　　　　　 A 中图分类号: 　 文献标识码 : 　 铝电解电容器是一种相当重要且应用范围极为广泛的电子组件 ,为改进其性能多年来对 此组件各部分的相关研究发展都一直持续进行着[1 ] . 其中 ,氧化铝介电阳极皮膜性质的优劣 对该组件的各方面性能表现有着最关键性的影响. 为了利用阳极化处理在高纯度铝基材上生 长出具有适当介电性质的氧化膜 ,须选用适当的阳极化溶液[2 ] . 在不同溶液中所制得的铝阳 极皮膜 ,其性质将有所差异. 据文献报道 ,硼酸[3 ,4 ] ,柠檬酸[5 ,6 ] ,酒石酸[7 ,8 ] 以及磷酸[9 ,10 ]基溶 液均为常用的电解液 ,在这些阳极化溶液中所成长的阳极介电皮膜其相关性质已被广泛探讨 与研究. 另外 , 由于这些介电皮膜的厚度往往只有几纳米至数百纳米,许多学者也尝试利用穿 透式电子显微镜对其微观组织结构进行更深入的观察与分析[11～13 ] ,并讨论其对皮膜介电性 质的影响. 对低电压用的铝电解电容器而言 , 己二酸铵水溶液是最常用的阳极化溶液之一,然而有关 此溶液中所生长的介电皮膜研究却少有充分而深入的讨论.