钛合金表面磁控溅射制备HA／YSZ梯度涂层.pdfVIP

维普资讯 34 材料工程 ／2008年 5期 钛合金表面磁控溅射制备 HA／YSZ梯度涂层 HA／YSZGradientCoatingonTi—alloySubstrate PreparedbyRF M agnetronSputtering 林东洋 ，赵玉涛 ，甘俊旗 ，程晓农 ，戴起勋 (1江苏大学 材料科学与工程学院，江苏 镇江 212013； 2广西大学 物理科学与工程技术学院，南宁 530004) LIN Dong—yang ，ZHAO Yu—tao ， GAN Jun—qi，CHENG Xiao—nong ，DAIQi—xun (1SchoolofMaterialsScienceandEngineering，Jiangsu University，Zhenjiang212013，Jiangsu，China；2PhysicalScience andTechnologyCollege，GuangxiUniversity，Nanning530004，China) 摘要 ：采用射频磁控溅射法在 Ti6A14V基体上制备了HA／YSZ生物梯度涂层。借助于XRD，SEM，EDS等对溅射涂层 的相组成、微观形貌和界面状态进行 了研究。实验结果表明：磁控溅射 的生物梯度涂层呈非晶态 ，经过退火处理，可 以使 其转化为晶态 ，恢复缺失的OH ；梯度涂层 的微观表面凹凸不平 ，并呈现网状结构和较多的孔隙，后处理仍保持梯度涂 层利于新骨生长 的表面形貌 ，并使其转变为针状结晶。HA／YSZ梯度涂层与基体结合紧密 ，在涂层与基体界面结合处 约 5．O”ITI范围内存在 Ti，Ca，P，Zr的相互扩散层 ，梯度涂层与基体 的界面结合强度达 60．5MPa。 关键词 ：HA梯度涂层 ；射频磁控溅射 ；微结构 ；结合强度 中图分类号：TQ 174 文献标识码 ：A 文章编号：1001—4381(2008)05—0034—05 Abstract：HA／YSZbioactivegradientcoatingswerepreparedonTi6A14V substratesbyradiofrequen— cymagnetron sputtering．The surfaceand interfacemorphologies，phasecomposition and chemical structureofthesegradientcoatingswerecharacterizedbySEM ，EDS，andXRD．Theresultsshowed thattheamorphouscoatingdepositedbyRF magnetron sputtercanbetransferredintothecrystalline structureandrestoredOH group bypost—annealing．Thesurfacemorphology ofgradientcoatings wascoarseandunevenwithwell—-distributedconcaveswhichwillgreatlyincreasethem icro——surfacear—- eaofcoating．Furthermore，thesurfac