投影光刻机镜头装校关键工艺与技术.docVIP

投影光刻机镜头的装校关键工艺与技术 【关键词】投影光刻机,光刻镜头,装校工艺 【论文摘要】重点介绍投影光刻镜头的装配结构、材料和加工、定心、检测、调整、连接等关键工艺环节的基本要求、工艺方法和保证措施。在此基础上介绍了一种光刻镜头专用装校系统；最后结合我国的光刻镜头研制现状和存在问题对今后的发展方向提出几点个人见解。 第一章 前 言 投影光刻镜头是微电子生产的关键工艺设备分步投影光刻机的核心部件。随着微电子生产工艺不断向微细化、集成化发展，对光刻镜头的要求越来越高，从而推动着光学制造技术在近十几年时间内从材料、设计、加工、检测、装校等各方面全面向前发展， 加上激光技术的应用使传统而古老的光学制造技术在内容上发生了深刻变化，也使得在微电子工业中被认为寿终正寝的光学光刻技术焕发出新的青春。一个高性能光刻镜头的制造典型地反映和代表了当今世界光学制造技术的最高水平和高新技术的含义，这是因为设计制造这样的镜头意味着以下一些复杂技术问题的解决： * 寻求并获得在紫外和深紫外波段的高性能指标的光学材料； * 探索新的光学结构或对典型结构进行合理有效的复杂化； * 先进的光学设计软件、丰富的像差校正经验并取得近乎完美的计算结果； * 具备高精度的检测分析手段； * 掌握和具备高精度光学零件、机械零件的加工工艺和手段； * 寻找品质优良的光学膜系材料和膜系设计结果，具备高精