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中 阁 辑 爹
种
一 甲 月 第 期
高频感应祸合热等离子体发生器 的
‘
完整 的二维数值模拟
陈 熙 陈 允 明
清华大 学工程力学 系 , 北 京 中国科学 院力学研 究所
摘 要
,
迄春 为止 所有有关 高频感应祸合 热等离子体 发生器 的数值模 拟均 以一 维 电橄
场 为基 础 本 文提 出了包括 二 维 电磁场 的完整而 又 自洽 的二 维数值模 拟方法 典型
、
的数值分析 结果表 瞬, 发生器 进 口 附近及激发线 圈区 内部 的电磁场 速度和温度分布
与 以前 的结果有 明显 的差 别 , 低 功率时更 为 明显 文 中详 细 比较 了本文建议 的数值模
拟方法 与 以前 的准 二 维方法 的计算结果 , 以揭示 准二 维方法 中采用一 维 电磁 场假 定
所 带禾 的误差
关键词 高频等离子体发生器 , 数值模拟 , 二维 电磁场
、
一 引 言
、
在 大气 压 流动气体条件下 的高频感 应 藕合等离 子体 , 自 年 以来在原子 发射光谱
、
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