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水平式隧穿磁强计的性能实验.pdf
清华大学学报 自然科学版 年 第 卷 第 期
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水平式隧穿磁强计的性能实验
汤学华= 尤 政
清华大学 精密仪器与机械学系 北京
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摘 要 水平式隧穿磁强计是一种新型隧穿磁强计 其特点 果 其方向和薄膜平面垂直/’0 等人利
D ! = F B
2 22(AA7
是 反映磁场变化的 力与敏感元件在同一水平面
#$%’() 用体硅微加工工艺研制了扭矩式隧穿磁强计 扭矩
=
内 对已加工的这种磁强计表头进行了性能实验 实验内容 /0
* * 梁可以绕支撑点转动 F
包括 通过隧道电流和驱动电压的测试实验来验证该表头
本文介绍一种新型隧穿磁强计 水平式隧穿磁
是一种符合隧道效应的传感器 通过隧道电流和线圈电流
+ 强计 水平式指的是磁场产生的洛伦兹力方向和磁
=
的测试实验来验证该表头具有磁强计的基本功能 测试结果
*
强计的敏感元件 质量弹簧系统 的结构平面在同一
- .
表明 这种磁强计符合隧道效应并能够敏感磁场信号
*
水平面内F
关键词 传感器 隧穿效应 磁强计 微机电系统
D + + +
图 给出了水平式隧穿磁强计主体结构的平面
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中图分类号D *$* 文献标识码D
0P Q
图 线圈布置在梁及质量块上 前梳齿的作用是拉
F -
文章编号D$%%%%%’(-*%%.%*%*%+%+
动
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