一种集成三轴加速度、压力、温度硅微传感器.pdfVIP

第! 卷# 第 期 仪 器 仪 表 学 报 8-19 ! :-9 !$$% 年 月 ’()*+* ,-./)01 -2 34(*)5(2(4 6)+5/.7*)5 ;.= !$$% 一种集成三轴加速度、压力、温度的硅微传感器 徐敬波，赵玉龙，蒋庄德，孙# 剑 （机械制造系统工程国家重点实验室# 西安交通大学精密工程研究所# 西安# % I$$G@ ） 摘# 要：针对恶劣环境和严格空间体积限制条件下的多参数测量问题，利用绝缘体上硅（3L6 ）材料，采用微型机械电子系统 （MJM3 ）技术，研制了一种可以同时测量三轴加速度、绝对压力、温度参数的单片集成硅微传感器，其中加速度、绝对压力传感 器基于掺杂硅压阻效应，温度传感器基于掺杂硅电阻温度效应。结合芯片中各传感器的工作原理，用有限元方法对设计的结构 进行了仿真，确定集成传感器的电阻分布和结构参数。根据确定的集成传感器结构，制定了相应的制备工艺步骤。最后给出了 集成传感器芯片的性能测试结果。 关键词：集成传感器； 3L6 ；MJM3 中图分类号：K3I$F= # # 文献标识码：;# # 国家标准学科分类代码：G$ = G$!$ !#$%’%( )%$%(# *+$%,)-#). /. ’.--,01%) 0((-$-.*--. 2.-))+.- 0#3 -*2-.0+.- N. ,()O- ，P’0- Q.1-) ，,(0) P’.0)C* ，3.) ,(0) （!#$ %$ ’#( )* +$,-#./,#0 +#.1* #,12/.3 !4$5 ，6.4/1$ )* 72$,/4/). 8.3/.$$2/.3 ， 9/ :#. ;/#)).3 ./=$24/ ，9/ :#. ?@@AB ，C-/.# ） 45).0( ：; 7-)-1(5’(4 +(1(4-) 7.15(?+*)+-/ 2-/ .+* () ’0/+’ *)B(/-)7*)5 (+ R/*+*)5*C () 5’(+ R0R*/= K’(+ 7-)-1(5’(4 7.15(?+*)+-/ (+ 20O/(405*C S(5’ 3L6 S02*/ ，S’(4’ 4-)+(+5+ -2 0 5’/**?0T(+ R(*U-/*+(+5(B* 044*1*/-7*5*/ ，0 R(*U-/*+(+5(B* 0O+-1.5* R/*++./* +*)+-/ 0)C 0 +(1(4-) 5’*/7(+5-/ 5*7R*/05./* +*)+-/= K’* C*+()*C +5/.45./*+ -2 5’* 7.15(?+*)+-/ 0/* +(7.105*C OV WJM （2()(5*?*1*7*)5 7*5’-C ）= K’* +(7.105(-) /*+.15+ 2-/ 5’* 7.15(?+*)+-/ 0/* .5(1(U*C 5- C*5*/7()* 5’* R-+(5(-) -2 R(*U-/*+(+5-/ 0)C 5’* +(U* -2 5’* +5/.45./*+= K’* 20O/(405() R/-4*++ -2 5’* 7-)-1(5’(4 7.15(?+*)+-/ (+ C*? +4/(O*C ，S’(4’ .+*+ O.1X?7(4/-704’()() 5*4’)-1-V 0)C +(1(4-)?-)?10++ 0)-C(4 O-)C() 5*4’)-1-V= ;5 10+5 5’* 7*0+./*7*)5 /*+.15+ -2 5’* 7.15(?+*)+-/ 0/* +’-S)= 6-7 8.3) ：7-)-1(5’(4 7.15(?+*)+-/ ；3L6 ；MJM3 感器，用以对不同的物理量同时进行检测，而且体积小、