基于Fokker-Planck方程等离子体模拟.pdfVIP

基于 Fokker-Planck 方程的等离子体模拟 ALI SHAJII ，DANIEL SMITH MKS Instruments, 90 Industrial Way, Wilmington, MA, USA, 01887 对于各个计算组织，等离子体的 模拟一直是个极大的挑战，有很多不 同近似程度的模拟计算方法。包括完 整的动力学计算方法，流体近似方法 和关于漂移扩散方程的方法。近几年 来，有人用 Fokker-Planck 方程处理 等离子体中的电子，同时把离子当作 流体进行耦合计算，获得了很好的计 算结果。本章我们将介绍基于通用 Fokker-Planck 方程的计算求解过程， 并通过一个具体实例得到电容放电过程的电子密度分布。希望通过该简单模型使 读者对等离子放电建模过程有个初步的了解。 1．引言 各种工业等离子体应用“过程”中都存在一个关键步骤[2][3]。历史上曾采 用各种不同方法对等离子体进行简化建模，分别对应于不同层面问题所需准确性 [3][5][7]。这些层面包括： 完整的动力学模型（多组分 Boltzmann 方程）[4]； 使用 Monte-Carlo 方法的颗粒模拟[3]； Fokker-Planck 近似[1][7]； 多尺度流动模型（也被称作漂移扩散模型）[3]。 出于种种原因，使得 等离子体的建模和模拟 非常困难。首先，最直接 的使用多流体方程的模 型不能反应相关的等离 子体物理过程。其次，“水 动力学”系数完全取决于 研究的特定问题，不能作 为纯气体或液体的常数 简单测量。最重要的一点 是，完整的动力学模型包 括 Boltzmann 方程，计算 求解非常困难。 对于完整动力学模 型和流动模型之间的需求空白，通常采用 Fokker-Planck (FP)近似或者 Monte Carlo (MC)颗粒模拟。这两种方法可以在所需计算复杂度和捕获等离子体重要物 理细节之间找到一个很好的平衡。 本章的主要目的是展现用 COMSOL Multiphysics 求解 FP 方程的功能。为了 对该问题给出一个整体认识，我们把侧重点集中在一个简单的例子上。特别是在 第二节我们通过一个简单的例子对 FP 方程给出一个直观描述，将它用于布朗运 动的颗粒模拟。本章最主要的贡献在于介绍了如何在外部电场情况下对电子动力 学过程进行建模。最后，在第四节中对如何使用 COMSOL Multiphysics 实现该模 型给出了详细的讨论。 2 ．一维FP 和 Langevin 方程 对 FP 方程直接求导可以得到 Langevin 方程[1]。考