用于激光束整形衍射光学元件设计.pdf

I㈠瞅四炒Y1 用于激光束整形的衍射光学元件的设计 摘要 近年来，随着光电产业的蓬勃发展，激光的应用领域日趋广泛，对于光束整 形的需求也日益扩大。由于衍射光学元件(Dim氇ctive叫icalElements，DOE)具 有厚度薄，重量轻、易于复制等诸多优点，目前已经成为激光束整形领域的一个 研究热点。利用衍射光学元件进行激光束整形的原理是基于光波的衍射理论，采 用计算机辅助设计，并结合超大规模集成电路制作工艺，在基片上刻蚀产生两个 或多个的台阶深度的浮雕结构。 本文详细论述了用于激光束整形的衍射光学元件设计的理论基础和设计方 法，并针对高斯光束的整形进行了初步的实验研究。本文主要工作如下： 首先，介绍了DOE设计所必需的理论基础，即标量衍射理论，并给出了DOE 的设计原理以及评价DOE性能的评价函数。详细地阐述了如何利用GS算法、 模拟退火算法和遗传算法来设计DoE，并对于将入射的平行光束整形成人字形 图案的问题，比较了三种方法设计得到的结果，并通过光学实验进行了比较。提 出了一种混合遗传迭代爬山算法，将遗传算法和迭代量化傅里叶变换算法结合起 来，直接设计量化的DOE，并与GS算法进行了比较。 其次，编写了相应的衍射光学元件设计的程序，针对夫琅禾费衍射系统，进 行了高斯光束的整形实验。对实验中出现的一些现象，给出了理论分析。对于菲 涅尔衍射系统，由于衍射的计算机计算有三种抽样方法，分别用三种设计方法进 行光束整形实验，并比较了对应的实验结果。 最后，鉴于传统的光束整形技术只有一种光强的输出，而在光镊子和彩色图 像等应用中，希望在不同的输出平面上得到不同的光强分布。介绍了一种典型的 串行迭代算法来设计多平面的输出，提出了一种改进的设计方法，并与原有的串 行迭代方法进行了比较，通过实验验证了所提出的设计方法的可行性。最后，基 于实验室现有的DWL66激光直写系统，阐述了DoE的实物加工制作工艺。 关键词：光束整形；衍射光学元件；迭代算法；菲涅尔衍射；夫琅禾费衍射； for Beam Dif仔aCtiVeElementsLaser of Shaping Design Optical ABSTRAT In他∞nt the yea璐，、杭ttl optoelec仃DIlics砌uStDr of de胧uldfor is opticm 印plic娟ontl圮l鹊％me be锄sh印inggr0埘ng．Dif!f融iVe el锄e鹏埘tllatllin t0 and otller copym锄y adVaInages， tllickness，lightweight，e硒y hwebc咖eahot佗searchfieldof廿lel鹪er be吼sh印ing．Di胁ctiVeoptical me of waVedif行aCtion el锄既临内r isba双迥on l嬲盱be锄shapillg p恤lCiplelight of∞mputI酐面deddesig叱combincd晰tllul的l鹕e∞ale tll∞Dr．T1le粥iIlg circmit di渤ctiVe elementsc锄beetcIⅣe