SiO_SUB_2_SUB_薄膜对蓝宝石表面及高温强度改善.pdfVIP

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 , 文章编号 一 一 薄膜对蓝宝石表面 及 高温 强度 的改善 冯 丽 萍, 刘正 堂 西 北 工 业 大 学材 料 学院 , 凝 固技 术 国 家重 点 实验 室 , 西 安 摘 要 蓝宝石具有一 系列优异 的光学和力学性能 , 使其成为红 外透过 窗 口与头罩 中备受青 睐 的材料 然而 随温度 的升高蓝宝石沿 轴 的抗压强度急剧 降低 , 大大 限制 了蓝 宝石 的抗热震 等许多性能 提高蓝宝石高温强度 的研 究 已成为蓝宝石在高速 、 高温应用 中一个巫待解决 的重 要课题 本文采用射频磁控反应溅射法在蓝宝石衬底上制备 了 涂层 利用三 点弯 曲法测 试 了镀膜及未镀膜蓝宝石试样 的室温及 高温抗弯强度 , 测量 了镀膜前后 蓝 宝石试 样 的表面形貌 及粗糙度 , 采用压痕裂纹法分析 了镀膜前后蓝 宝石 的表面残余应 力 结果表 明, 镀 薄膜 可 以改善蓝宝石 的表面形貌 , 降低表面粗糙度 , 同时改变蓝宝石 的表面应力 在 , 镀膜蓝 宝石 的抗弯强度是未镀膜蓝宝石 的 倍 关 祖 词 蓝 宝石 薄膜 表面形貌 高温强度 中图分类号 文献标识码 引言 蓝 宝石 一 系列 光 和 学 , 的 过 、 、 点 、 具有 优异 的 学 力 性 能 如具有很 宽 透 波段 高硬 度 高熔 震 、 、 些 能 了它 目 波红 口 头罩 的最 抗热 性好 抗摩擦