靶基距对脉冲激光沉积CN_x薄膜微结构和摩擦学性能影响.pdfVIP

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2017-08-30 发布于安徽
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靶基距对脉冲激光沉积CN_x薄膜微结构和摩擦学性能影响.pdf

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第卷第期中国表面工程２６１Ｖｏｌ．２６Ｎｏ．１　　　　　年月２０１３２ＣＨＩＮＡＳＵＲＦＡＣＥＥＮＧＩＮＥＥＲＩＮＧＦｅｂｒｕａｒ２０１３　　　ｙ　：／ｄｏｉ１０．３９６９．ｉｓｓｎ．１００７９２８９．２０１３．０１．０１１ｊ－靶基距对脉冲激光沉积ＣＮ薄膜微结构和ｘ摩擦学性能的影响＊１１１２１１，，，，，宋建强郑晓华杨芳儿陈乐生郑晋翔沈涛　（，；，）浙江工业大学机械工程学院杭州温州宏丰电工合金股份有限公司浙江温州１．３１００１４２．３２５６０３摘要：，。用脉冲激光沉积法制备ＣＮ靶材在氮气中进行烧蚀在不同靶基距下制备了ＣＮ薄膜用扫描　ｘｘ（）、（）、电子显微镜ＳＥＭＸ射线光电子谱ＸＰＳ和Ｒａｍａｎ光谱等对薄膜的表面形貌化学成分以及元素化学状态。。：进行了表征用球盘式微型摩擦磨损试验仪测试了薄膜在大气中的摩擦学特性结果表明随着靶基距增３３，（），　　。大到４５ｍｍ时ＣＮ薄膜中的含氮量原子数分数上升至２３．９％有利于ｓＣＣ键和ＮｓＣ键的形成ｘｐ－－ｐ