磁控溅射在镁合金表面处理中应用.pdfVIP

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铸造技术 V01.27NO.4 FOUNDRYTECHNOLOGY Apr.2006 磁控溅射在镁合金表面处理中的应用 王雪敏,曾小勤,吴国松,姚寿山 (上海交通大学轻合金精密成型国家工程中心,上海200030) 摘要:采用磁控溅射制备的合金表面膜层具有防腐蚀性能优异、耐磨性强等优点,其作为镁合金表面处理技术具有良好的发 展趋势。简要介绍了磁控溅射的基本原理及其在镁合金表面处理中的一些应用,并着重给出了反应磁控溅射“Berg”模型的简 化计算方法,最后对国内外磁控溅射的最新技术以及应用于镁合金表面处理的趋势进行了展望。 关键词:磁控溅射;镁合金;表面处理 文献标识码:A 中图分类号:TN305.8:TGl46.2+2 文章编号:1000—8365(2006)04—0412—04 icationsof on Al Surface Appl MagnetronSputteringMagnesiumloys WANGXue-min,ZENG Shou’shan Xiao-qin,WUGuo-song,YAO (State ofMetalMatrix Jiao University,Shanghai KeyLaboratory Composite,ShanghaiTong Abstract:The have corrosionandwear coatingsdepositedbymagnetronsputteringtechnologygood resistance.Thisshows trendinthefieldof techniqueoptimisticdevelopment magnesiumalloys its surfacetreatment.Thebasic of andrecent principlemagnetronsputteringtechnology in are of surfacetreatment magnesiumalloys brieflyreviewed.Especially,thesimplified model”is forthenew andtrendof “Berg’S introduced.Finally.aprospect technique on surfacetreatmentisalso sputteringmagnesiumalloys given. treatment Keywords:Magnetronsputtering;Magnesiumalloys;Surface 镁合金的耐蚀性差极大地限制了它在各个领域中 结构材料使用的需要,因此在这方面还需要进一步研 的应用,其耐蚀性差的主要原因是对电偶腐蚀很敏

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