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溶胶—凝胶法制备TEOS—DOS基SiO2疏水减反射膜溶胶微结构对膜性能的影响.pdf
维普资讯
第20卷 第3期 总 第 79期
、(J1．20 No．3 Sep ．2002
文章编号 ：1004．793X(2002)03．0344．05
溶胶一凝胶法制备 TEOS—DOS基 SiO 疏水减反射膜 ：
溶胶微结构对膜性能的影响
徐 耀 。范文浩 。章 斌 ，吴 东 ，孙予罕
(中国科学 院山西煤炭化学研 究所煤转化 国家重点实验室 ，山西 太原 030001)
材 Ma
【摘 要】 以乙醇为溶剂，F硅酸乙酯 (TEOS，tetraethoxysilane)在氢氧化铵催化下水解缩 聚为纳米尺度的无
定型 SiO 溶胶颗粒 ，二甲基二 乙氧摹硅烷 (DDS，dimethyldiethoxysilane)在盐酸催 化下水解缩 聚为线状 聚二 甲荩硅
料． ．S耋
氧链 用混合溶胶在玻璃基片上旋转镀膜 ，然后于 80℃宅气气氛下热处理 。实验证 明通过 DDS将疏水 的双 甲丛
．
科 e
链引入镀膜胶体 ，使膜兼具疏水性和减反射性能 。利用激光散射粒度分析仪和电子显微镜研究了溶胶颗粒 的粒
度变化和聚集情况等溶胶微结构 ，用物理吸附仪研究 了膜 的孔结构 ，考察 了热处理前后膜 的疏水性和透射谱 ，得
学 ∞
到 了溶胶微结构与膜性能之 间的关联 。
与 D
【关键词】 溶胶凝胶法 ；疏水 ；减反射；膜；TEOS；DDS
g
中 图分类 号 ：TB43 文 献标识码 ：A 、
工
程 增
Preparation 0fTEoS．DDSBased W ater．RepellentAnti．Reflective
SiO，FilmsbySo1．GelProcess：Effects0fM icro．structure
ofSolson PerformancesofFilms
XU Yao，FAN W en-hao，ZHANG Bin，W U Dong，W UN Yu-hna
．
(KeyLaboratoryofCoalConversion，ShanxiinstituteofCoal Chemistry ，ChinaAcademyof
Science，Taiyuan 030001，China)
A【bstract】 BasicsolscontainingamorphousSiO2particleswerepreparedtroughsol—gelprocesswithTEOS(tetraethoxysilane)as
precursorinalcoholsystem1．AcidicsolscontainingpolymerofDDS(dimethyIdiethoxysilane)werealsopreparedbysol—gelmethod．After
mixingthesetwokindsofsols，spinningcoatingwasusedtodepositfilmsoncaref
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