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- 2017-08-30 发布于安徽
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第 46卷 2010年第 4期 西 北 师 范 大 学 学 报 (自然科学版)
Vo1.46 2010 No.4 JournalofNorthwestNormalUniversity (NaturalScience) 37
多孔TiO2 To纳米有序阵列膜的可控生长研究
王成伟 ,马军满 。,李 燕 。,张其君 。
(1.西北师范大学 物理与电子工程学院,甘肃 兰州 730070;
2.中国科学院 兰州化学物理研究所 ,固体润滑国家重点实验室,甘肃 兰州 730000;
3.西北师范大学 极端环境原子分子物理实验室 ,甘肃 兰州 730070)
摘 要 :用脉冲激光沉积 (PLD)技术在导 电玻璃 (FTO)衬底上沉积 Ti膜 ,采用 电化学 阳极氧化方法,细致研 究 了
FTO衬底上多孔 Ti02纳米有序阵列膜的可控 生长.结果表 明,恰当的阳极 电压对形成高度有序 、孔径均匀的多孔
Ti02/FT0阵列膜至关重要 ;通过优化 的工艺参数 ,借助 阳极氧化过程 中各阶段 电流一时间(bt)曲线的准确判断,可
实现对多孔 Ti02阵列膜生长过程的有效控制 ,制备 出高质量的多孔 TiO:/FTO阵列膜.
关键词 :多孔 Ti02/FT0纳米有序 阵列膜 ;阳极氧化 ;可控生长
中图分类号:O614.41 文献标识码 :A 文章编号:1001—988X(2010)04—0037—06
Investigationoftthheeccoonnttrroollllaabblleeggrowvtthh
oforderedporousTiO2/FTOnanoarraymembranes
WANG Cheng-wei。· ,MAJun—man ,LIYan ,ZHANGQi-jun’。
(1.CollegeofPhysicsandElectronicEngineering,NorthwestNormalUniversity,Lanzhou730070,Gansu,China;
2.StateKeyLaboratoryofSolidLubrication,LanzhouInstituteofChemicalPhysics,
ChineseAcademyofScience,Lanzhou730000,Gansu,China;
3.JointLaboratoryofAtomicandMolecularPhysics,NWNU & IMPCAS,Lanzhou730070,Gansu,China)
Abstract: High quality Ordered porous TiO2 nanoarray membranes are successfully fabricated on
transparentfluorine--dopedtinoxide--coating(FTO)glasssubstratebyanodicoxidationofTifilmsdeposited
with pulsed laserdeposition (PLD)technique.Themechanism ofcontrollablegrowthoforderedporous
TiO2nanoarraysisinvestigated. Theresultsshow thatthesuitableanodicvoltageiscrucialtoform the
highlyorderedanduniform poresizedistribution porousTiO2/FTO membranes.By optimizing the
oxidationparametersandexactlyjudgingthecurrent—time(bt)curves,thegrowthprocessofporous
TiO2/FTOnanoarrayscanbeeffectivelycontrolled.Therefore,theorderedporousTiO2membraneswith
thincompacttit
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