类金刚石膜性能_制备及应用.pdfVIP

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2017-08-30 发布于安徽
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类金刚石膜性能_制备及应用.pdf

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2 7 1 Vol. 27 N o. 1 2 008 2 BU LLETIN OF TH E CH IN ESE CERAM IC SOC IETY F ebru ary 2008 ( 100088) 3 : sp : ; ; : O484. 4 : A : 5( 2 008) 012011920 8 Properties, Processing and Application of Diam ond2like Carbon Film YANG Yu2wei, YANG J ian, GUHong2wei, LI UHui2zhou, ZHANGHua, JIN Wei ( Sup er conductor R e search C enter General R esear ch Inst itute for N on2ferrou sM etals B eij ing 100088 Ch ina) Abstract: D iam on d2lik e carb on ( DLC) is a m etastab le form of am orph ou s carbon contain ing a sign ifican t 3 fraction of sp bond s. Du e to the smi ilarity of th e m akeup op tical tran sm ittance hardn ess refractive in dex the in ertn ess in ch em ical corrosive and frict ion prop ert ies w ith D iam ond DLC h as drawn ever2 in creasing attention and its app lication areas are widen in g. In th is paper DLC s` properties physical vap or dep osition and chem ical vapor deposit ion of th e D iam ond2lik e C arbon F iml are introduced. A lso the DLC film is described w ith th e app licat ions in th e m ech an ical area electrom agnet ic area op tica l area m edica l area and oth er areas. F in ally th e further study tenden cy was pointed out. K ey words: d iam ond2lik e carb on fiml ; processin g technology; app lication 1 引言 [ 1 ] 1971 A isenb erg ( d iam ond2lik e carb