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纳米多层膜力学性能研究进展
许俊华 顾明元 李戈扬
( 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室 上海 200030 )
文 摘 由两种不同材料交替生长而形成的多层薄膜 ,其力学性能随调制周期的变化而发生变化 ,在某
一范围出现超模 、超硬等异常效应 , 由于其潜在的实际应用价值及理论意义 ,纳米多层膜的力学性能成为近
年来人们研究的热点 。本文综述了近年来国内外学者对纳米多层膜力学性能的研究结果 ,探讨了出现力学
性能异常的机理 ,为设计新型的纳米多层膜镀层提供理论依据 。
关键词 超晶格 ,薄膜 ,力学性能 ,机理
Progress in Mechanical Properties of Nanomultilayer Thin Films
Xu Junhua Gu Mingyuan Li Geyang
( )
State Key Laboratory of Metal Matrix Composites ,Shanghai Jiaotong University Shanghai 200030
Abstract Mechanical properties of multilayer thin films composed by alternating layers of two different materials
vary with the change of the modulation period . The supermodulus and superhardness effects are observed at a specific
range of modulation periods. Hence the mechanical properties of multilayer thin films have been paid considerable atten
tions in recent years because of potential technological applications and theoretical significance . The research results of
mechanical properties of nanomultilayer thin films are reviewed in this paper . The mechanism of the mechanical property
anomalies has been explored ,which is useful for design of new types of nanomultilayer thin films.
Key words Superlattice ,Thin films ,Mechanical properties ,Mechanism
1 引言 2 超模效应
多层膜是由两种或两种以上不同的薄膜相互交 弹性模量被作为结构不敏感性能的一个例子 ,
替生长而形成的多层人造结构 ,每相邻两层形成一 它的物理本质表征着原子间的结合力 :
λ [ 1] m
个周期 ,称为调制周期 ,其厚度用 表示 。在制备 E = K/ a
多层膜时 , 由于人们可以任意改变薄膜的厚度 ,控制 式中 , K , m 为常数,
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