纳米多层膜硬度的研究进展.pdfVIP

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2017-08-30 发布于安徽
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纳米多层膜硬度的研究进展.pdf

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第卷第期 3 5 基础理论研究 Vol.3No.5 年月 2006 10 BasicResearch October2006 纳米多层膜的硬度研究进展刘宏玉, 吴开明 (武汉科技大学理学院, 湖北武汉 ) 430081 摘要:由两种不同材料交替生长而成的纳米多层膜,其硬度出现增强现象,在调制周期一定范围内出现极大值。这一现象有理论研究意义和实际应用价值。综合评述了硬度增强理论和应用的研究结果,展望了未来的研究发展方向。关键词:纳米多层膜;超晶格;硬度增强 ResearchingProgressinHardnessofNanoscaleMultilayerFilms LIUHong-yu, WUKai-ming (SchoolofScience,WuhanUniversityofScienceandTechnology,Wuhan 430081,China) Abstract:Hardnessenhancementofnanoscalemultilayerfilmscomposedoftwodifferentmaterialsalternatingnanoscale layersisatitsmaximumatspecialrangeofmodulationperiods.Ithaspotentialpracticalapplicationsandtheoretical significance.Theresearchresultsoftheoryabouthardnessenhancementandapplicationsarereviewedandthefuture researchdirectionsareoutlooked. Keywords:nanoscalemultiplayerfilms;superlattice;hardnessenhancement 中图分类号: 文献标识码: 文章编号: ( ) TB303 A 1812-1918200605-0004-05 0 引言 (相邻两层厚度之和)及单层厚度比(某一单层厚度与调制周期之比)达到一定数值时,硬度会超出自上个世纪年代中期第一个微米级多层 70 按照单层组元混合法则算出的硬度数值,有些会保护膜 [1] TiC/TiCN/TiN出现以来 ,多层膜尺寸已达出现大于40GPa的超硬现象。在硬度随调制周期纳米级。由两种不同纳米级尺寸的单层材料交替 λ(或单层厚度比)的变化曲线中,往往会出现硬度 [2] 生长而成的纳米多层膜(又称超晶格薄膜 ),由于 [3] 极大值。典型的例子如Helmersson采用反应磁控组成材料的结构、性能以及各层间复杂的界面情溅射制备的单晶超晶格,显微硬度从 TiN/VN H 况,使其在力学、光学、电学、磁学