分子束外延系统选型手册.pdfVIP

DCADCADCADCA分子束外延及高分子束外延及高分子束外延及高分子束外延及高 真空薄膜沉积系统真空薄膜沉积系统真空薄膜沉积系统真空薄膜沉积系统 宇丰凯电子科技有限公司 DCA 公司简介 DCA Instruments 是一家专业从事分子束外 延（MBE ）和超高真空薄膜沉积系统及组件的 设计和制造的公司设计和制造的公司。DCADCA InstrumentsInstruments 自年 成立以来，已经在全球范围内安装了超过100 套的超高真空系统。 DCADCA IInsttrumentts绝大部分的产品都是针对绝大部分的产品都是针对 用户定制设计复杂的沉积系统,该公司许多的标 准系统最初都是起源于针对某些客户对沉积过 程特殊需求的解决方案程特殊需求的解决方案,因此在标准系统制造业因此在标准系统制造业 中有着深厚的为用户定制设计的背景，在用户 中具有很好的声誉。 DCA 公司主要产品(1) 分子束外延系统（MBE ） 所针对的材材料 特 点 GaAsGaAs、InPInP和和GaSbGaSb外延外延 专利的衬底操控器专利的衬底操控器 专利的长寿命和高稳定性泄流盒灯丝 HgCdTe外延 泄流盒（包括灯丝）两年质保 GaN、InN和AlN外延 高性能高性能PBN/PG/PBNPBN/PG/PBN或或SiCSiC衬底加热器衬底加热器 Ⅱ-Ⅵ族外延 快速反应的磁感线性快门 SiGe外延 衬底加热器两年质保 氧化物外氧化物外延 专利的磷裂解器专利的磷裂解器 复合的薄膜沉积MBE系统 DCA 公司主要产品(2) • 物理气相沉积（PVD ）系统 沉积方式 特 点 磁控溅射磁控溅射 具有独特磁体配置的高均匀度磁溅射源具有独特磁体配置的高均匀度磁溅射源 脉冲激光沉积（PLD ） 射频、直流、磁性材料和非平衡溅射 电子束蒸发 抗氧化衬底加热器 离子束沉积离子束沉积 复合薄膜沉积的全自动溅射系统复合薄膜沉积的全自动溅射系统 热蒸发 全电脑控制的PLD系统可实现大区域沉积 主要产品介绍（1） R450(R450C) MBE系统 最大3英寸样片 双区域液氮冷却板 88个泄流盒个泄流盒 倾斜的腔室设计 15KeV RHEED 500500L/L/s 离子泵离子泵 8英寸低温泵 500L/s 分子泵 钛升华泵钛升华泵 （（TSP ）） 带300L/s 离子泵的超高真空（UHV ）缓冲室 带分子泵的真空进片室 主要产品介绍（2） P600 MBE系统 最大4英寸样片 双区域液氮冷却板 10个泄流盒个泄流盒 垂直腔室 30KeV RHEED 500500L/sL/s 离子泵离子泵 8英寸低温泵 1000L/s 分子泵 钛升华泵钛升华泵 （（TSPTSP ）） 带300L/s 离子泵的超高真空（UHV ）缓冲室 带分子泵的盒式真空进片室 主要产品介绍（3） M600 MBE系统 最大4英寸样片 液氮冷却板液氮冷却板 2个电子枪 最多可达8个泄流盒 垂直腔室 30KeV RHEED 500L/s 离子泵