方块电阻测试仪可靠性的研究.docVIP

导电薄膜电阻测量技术的可靠性研究 ? 摘 要 本文针对手提式薄膜面电阻测试仪在使用中容易出现的问题，进行分析研究，提出了解决方案，并在实验中得到实现。研究的问题包括：电池供电的电压监测；探头完全与被测样品接触良好的检测；防止探针对被测样品造成电击穿；测量时自动进行量程转换等。 关键词：面电阻 电压监测 接触 量程转换 一、引 言 随着溅射技术、靶材技术的发展深入和成熟，使以氧化铟锡透明导电玻璃（ITO玻璃）为代表的导电薄膜材料的制造和应用越来越广泛。ITO玻璃目前是与液晶显示等平面显示技术配套的关键组件。从1987年起至今，ITO玻璃的制造在国内已有二十年的历史。产品已广泛用于电子手表、计算器、游戏机、移动电话、电脑显示器、平面电视等消费类产品，以及各种光电仪器设备和科学实验中的透明导电电极等。现在，国内已有ITO玻璃生产企业的单位年生产能力由60万片提高到了2000万片。产品也从TN型ITO玻璃，延伸到STN型、触摸屏、彩色滤光片[1]……众多品种。 ? 二、导电薄膜材料的检测参数 面对越来越大量的导电薄膜材料的生产制造，如何保证产品的质量？除了要求生产企业的生产线稳定性不断提高，检测技术在此也提供了强有力的支撑作用。 ITO玻璃的产品质量检测包括以下几个方面：尺寸、面电阻、蚀刻性能、ITO膜层耐碱性、光电性能和可靠性等。除尺寸方面的检测仅与玻璃原片有关外，其余几个方面都与ITO玻璃生产的工艺过程有关。由于国内大多数ITO玻璃生产企业自己不生产玻璃原片，所以，与生产企业有关的ITO玻璃产品质量参数就是：面电阻、蚀刻性能、ITO膜层耐碱性、光电性能和可靠性等。 以上几个参数是由ITO玻璃生产的工艺过程所确定，同时各个参数之间也存在必然的关联。可以说，这几个参数中的每一个，都可以是以其余参数为变量的函数。事实上，在生产线的技术 条件稳定，靶材选择固定的条件下，检测以上几个参数的任意一个，其结果都有代表性的意义。所以，我们选取面电阻作为经常性检测的参数。因为对面电阻的检测操作最简便，检测成本最低，并且瞬间就可以得到检测结果。 ? 三、面电阻的测量原理 薄膜电阻通常以面电阻（或方块电阻、薄层电阻）来表示。按照电阻定律： R ρ×L／S （1） 式中R代表样品电阻，ρ代表样品电阻率，L代表电流方向上的样品长度，S代表样品垂直于电流方向上的截面积。 可以知道面电阻的测量原理如下：面电阻如图1所示：G表示玻璃原片；ITO表示被溅射在玻璃原片上的氧化铟锡膜层；D表示膜层的厚度；I表示平行于玻璃原片表面而流经膜层的电流；L1表示在电流方向上被测膜层的长度；L2表示垂直于电流方向上被测膜层的长度。根据式（1），则膜层电阻R为： R ρ×L1／（L2×D） 式中ρ为膜层材料的电阻率。当式中L1 L2时，即为膜层的面电阻R□： R□ ρ／D （单位：Ω∕□） （2） 它表示膜层的面电阻值仅与膜层材料本身和膜层的厚度有关，而与膜层的表面积大小无关。 在实际的测量中，手提式仪器基本上采用“直排四探针”方法测量膜层的面电阻。原理如图2所示。图中1、2、3、4表示四根探针；S表示探针间距；I表示从探针1流入、从探针4流出的电流（单位：mA）；V表示探针2、3间的电位差 单位：mV 。 2））为： R□ 4.53×△V／I （单位：Ω∕□）[2] [3] 由上式可见，只要在测量时给样品输入适当的电流I，并测出相应的电位差△V，即可得出膜层的面电阻值。 ? 四、问题的提出 实际上，在ITO玻璃的生产过程中，检测最多的参数是ITO玻璃的面电阻。根据在不同岗位的检测需要，生产企业分别使用手提式和台式两种面电阻测量仪。而手提式面电阻测量仪相对使用较多。 手提式面电阻测量仪的特点如下： 1.????? 可手持仪器进行测量，操作简单、方便灵活。 2.????? 采用干电池供电，对测量的干扰因素较少。 存在的问题如下： 1.????? 由于采用干电池供电，仪器电源电压会出现从高到低变化。为保证仪器 的正常工作，目前仪器上采用超前低电压报警的做法。由于“超前”较多，所以不能使电池得到充分的利用。因此提高了生产成本，增加更换电池的次数又降低生产效率。还造成多余电池的浪费，不利于环保。 2.????? 由于是手持仪器和探头进行操作，探头的四根探针不容易同时与被测样 品接触良好，进而影响测量的可靠。目前仪器采用完全不对探针的接触状态进行检测，或仅对探头的其中两根探针进行检测的方法进行监测，漏测率还有50%。对检测结果的不确定仍有较大的风险。 3.??