绒面ZnO薄膜生长及在太阳电池前电极应用.pdfVIP

第 卷 第 期 半 导 体 学 报 年 月 绒面薄膜的生长及其在太阳电池 前电极的应用 陈新亮 薛俊明 孙 建 赵 颖 耿新华 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室 南开大学光电信息技术科学教育部重点实验室天津 摘要研究了 技术制备的不同 掺杂流量下 薄膜的微观结构和光电性能变化 和 的研究结果表明 薄膜具有 峰择优取向的绒面结构特征 当 流量为 时在 面积 玻璃衬底上生长出厚度为 方块电阻为 平均透过率大于 迁移率为 的绒 面结构 薄膜 谱测试表明 掺杂提高了 薄膜的晶体质量有力地说明了 掺杂 薄膜具有更好 的电学稳定性低压 氛围中退火可以有效提高 薄膜的电子迁移率 将其用作 薄膜太阳电池的前电极电 池性能与日本 作前电极的电池具有同等效果 关键词绒面 薄膜掺杂前电极太阳电池 中图分类号 文献标识码 文章编号 应用可以有效增强光散射改善陷光效果它对提高 前言 和 叠层薄膜太阳电池的效 率起到了决定性的作用 对于 薄膜太阳电池主要包括非晶硅 目前生长 薄膜的方法很多包括脉冲激光 电池微晶硅 电池以及非晶微晶叠层 沉积 金属有机物化学气相沉积 电池来说陷光 作 射频直流溅射 电子束反应蒸 用对器件性能尤为重要 的光学带宽为 发 喷雾热分解 和溶胶 凝 左右其吸收系数在短波方向较高而 胶法 等 应用于 薄膜太阳电池及其 的光学带宽约为 其吸收系数在长波方向 组件 的 薄膜国际上主要是磁控溅射和 较高并能吸收到红外长波区域这就使太阳光谱能 技术 利用磁控溅射法制备薄膜太阳电池 得到更好利用 然而微晶 是间接带隙半导体材 用 薄膜通常采用 掺杂得到较低电阻率 料这限制了其光学吸收系数 如果在单一光程通过 的镜面结构为应用于太阳电池前电 的情况下没有几个微米厚度的薄膜入射光不会被 极溅射后的 薄膜须采取湿法刻蚀才能形成绒 完全吸收为了缩短薄膜生产时间降低成本必须加 面结构 以期获得良好光散射能力 调制绒面 入陷光结构 另外对于 太阳电池加入陷光 结构时湿法腐蚀起关键作用因此在大面积腐蚀 结构可以进一步减薄吸收层厚度减少 光致 薄膜形成绒面结构时具有高的风险性和造成 材料浪费腐蚀后薄膜厚度减少 然而 衰减效应 即光照情况下非晶 材料的缺陷态 密度