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MEMS器件与技术
MEMSDeviceTechnology
基于MEMS技术的微波滤波器研究进展
欧阳炜霞 张永华 王 超 郭兴龙 赖宗声
, , , ,
华东师范大学 微电子电路与系统研究所 上海
( , 200241)
摘要 基于 技术的滤波器是现行 结构中一个关键的 器件 与传统的采用金属
: MEMS RF MEMS 。
矩形或圆柱波导以及半导体元件制作的滤波器相比 滤波器具有低损耗 高隔离度 线性
,MEMS 、 、
好 体积小 易于集成等优点 对利用 技术制作的滤波器做了分类总结 综述了近几年
、 、 。 MEMS ,
滤波器的研究进展 包括硅体微加工滤波器 传输线型滤波器和基于 开关 电
MEMS , 、LIGA MEMS /
容实现的可调滤波器 指出可调滤波器的开发适应微波 毫米波波段的多频段 宽带无线通信系
。 、 、
统的迫切需要 具有重要的现实意义
, 。
关键词 技术 硅体微加工 技术 微波滤波器 可调滤波器
:MEMS ; ;LIGA ; ;
中图分类号: ; 文献标识码: 文章编号: ( )
TN713 TH703 A 1671-4776 2008 04-0214-05
ReviewonMEMSMicrowaveFilters
, , , ,
OuyangWeixia ZhangYonghua WangChao GuoXinglong LaiZongsheng
( )
InstituteofMicroelectronicsCircuitSystem,EastChinaNormalUniversity,Shanghai200241,China
:
Abstract FiltersbasedonMEMStechnologyareimportantdevicesincurrentRFsystems.Compared
withtraditionalmicrowavefiltersutilizingmetallicrectangular/circularwaveguidesorsemiconductor
components,MEMSfiltershaveadvantagesincludinglowloss,highisolation,excellentlinearity,small
size,easyintegration,etc.FiltersbasedonMEMStechnologyareclassifiedandsummarized.The
researchprogressesofMEMSfiltersoverth
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