基于超高阶导模皮米量级位移测量.pdfVIP

基于超高阶导模的皮米量级位移测量1 1 1 1 2 2 2 2 陈凡 ，曹庄琪 ，沈启舜 ，汪胜前 ，桑明煌 ，袁文 ，段碧民 1 上海交通大学物理系, 上海市闵行区东川路800 号（200240 ） 2 江西师范大学物理系,南昌市（330027 ） Email: chenfan@ 摘 要：本文在亚毫米尺度双面金属包覆光波导研究的基础上，提出了一种不同于传统条纹 分析的微小位移传感方案。借助超高阶导模对导波层厚度极为敏感的特点，由反射光光强变 化直接测得位移分辨率为 1.7纳米。使用锁相探测技术后，位移测量分辨率提高到 3.3皮米。 该方法实用、简单，无需任何复杂的伺服系统。 关键词：双面金属包覆波导 超高阶导模 精密位移测量 1. 引 言 在过去的 20 年里，随着工业和科学技术的发展，对位移测量的精度要求越来越高。已 发展了多种位移测量的传感技术[1-4]，其中广泛应用的是基于干涉技术的位移传感器。然 而，由于复杂的光学构造，需要伺服系统以及确保光源波长稳定的附加设备，这些因素严重 地限制了干涉技术在高精度位移测量中的应用。基于压电、压阻、电容技术的位移和加速度 测量虽然具有精度高、尺寸小、重量轻等特点，但这些电学方法也面临一些困境，难以在强 电磁干扰和高温等恶劣环境中使用。在文献[5]中, 研究人员第一次提出了一种基于表面等离 子体共振（SPR ）的位移和加速度传感器，它既克服了以往光学干涉法的复杂性，同时应用 范围广泛。然而，用表面等离子体波为探针，探测空气隙厚度微小变化也存在以下缺陷：(1) 表面等离子体波只能由 TM 波激发；（2 ）此外，在 SPR 结构中，由于金属的吸收特性，几 乎有一半的光束能量转化为焦耳热，在衰减全反射谱中形成一个相对较宽的吸收峰，从而影 响了传感的灵敏度[6]。 本文构造了一种亚毫米尺度的双面金属包覆波导(SMCOW) [7]，利用压电陶瓷驱动器 （PZT ）构成的可变空气隙作为导波层。亚毫米尺度的波导能容纳大量的导模，而只有超高 阶导模（它的模数 m 通常大于 1000）才具有对导波层厚度变化极为敏感的特性。为此，我 们提出了一种利用超高阶导模进行微小位移测量的新方法。此前，我们曾用非扫描方法实现 了衰减全反射配置，即用一个聚焦的锥状光束入射一个导波层厚度可变的双面包覆金属光波 导，测量条纹的移动获得了 50 纳米的位移分辨率[8]。本文提出一种改进方案：通过测量反 射光强的变化，来探知导波层厚度的微小变化。该方法比观测条纹的移动具有更高的灵敏度， 在实现高灵敏度位移探测器中有很好的应用前景。 1 本课题得到国家自然科学基金）和高等学校博士学科点专项科研基金（20020248058 ） 的资助。 - 1 - 2. 测量原理 如图 1 所示，位移传感器由两个主要部分组成：一部分是底面镀有薄金膜的玻璃棱镜； 另一部分是由上下两表面镀有厚金膜的铌酸锂晶体（LiNbO3 ）构成的压电陶瓷驱动器。两 个部分相隔约约 100 µm, 整个结构被刚性地固定在一个很重的平台上。在该结构中，棱镜 底面的金膜、空气隙和铌酸锂晶体上表面的金膜构成一个双面金属包覆光波导。 θ3 ε3 ε2, h2 ε1,h1