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23 2 Vol 23 N o2
2009 2 J O UR N A L OF E LE CT R ON I C M EA S UR EM EN T A N D I N S T R UM EN T 1
( )
孙圣和
( , 150001)
: ,
, 9 : M EM S
,
: ; M EM S ; ; ;
: T P212 : A : 460 4025
Development trend of modern sensor
Sun Shenghe
( Ha rbin Ins i u e o f T echno log y, Ha rbin 15000 1, China)
Abstract: Sensor is he so urce of inf orm a ion sys em and i is he key com po nen which de erm ines he
charac er is ics and per for mance o f he sys em. T his paper s udies he developmen rend o f he m odern sen
sor, and nine kinds of sensor s are rev iew ed fro m he v iew s o f co ncep , principle, perf orm ance and applica
ion . T hese sensors are f iber sensor, in eg ra ed sensor, MEM S sensor, f uzzy sensor, in ellig en sensor,
mul ifunc ion sensor , modeling senso r, ne w orking sensor, biolog ical sensor . T he ex amples of each kind of
sensor are lis ed.
Keywords: in egra ed sensor; MEM S sensor; in elligen sensor ; m ul ifunc ion senso r; ne w orking
sensor
6. 2
6 , ,
,
6. 1
22
y i N x
,
( ) y x
( 2 ) 1
, 21
图22 多功能传感器结构模型
Fig . 22 S r uc ural model of
图21 多功能传感器概念示意图 m ul if unc io n sensor
F ig. 21 Concep of m ul if unc io n sensor
2
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