纳米硅薄膜中的量子点特征39;.pdfVIP

第 卷 第 期 自然科学进 展 国家重 点实验 室通 讯 年 月 — ‘ 纳米硅薄膜 中的量子 点特征 何 宇亮 余 明斌 “ 吕燕伍 戎霭伦 北 京航 空航 天大 学 非 晶态 物理 与光信 息研 究室 , 北 京 刘 剑 徐士 杰 罗克俭 奚 中和 国 学 导 晶 构 国 室 , 学 无 学 系 , 京 卜 科 院半 体研 究所超 格与微结 家 实验 北京 北 京大 线 电电子 北 摘要 从 电性和 结构 上 论 证 了纳 米硅 薄膜 中的细 微 晶粒 一 具 有 量 子 点 特 征 在其 电导 曲线 中呈 现 出随 晶粒 尺 寸减 小 而 增 大 的小 尺 寸效 应 使 用 一 , 薄层 一 厚 纳米硅 膜 制成 了隧道 二 极 管 已在 液 氮 温 区 、 在 其 及 一