三极结构四针状纳米犣状犗场致发射显示器研.pdfVIP

第 卷 第 期 光 学 学 报 ， ２９ ２ Ｖｏｌ．２９ Ｎｏ．２ 　 　 　 　 年 月 ， ２００９ ２ 犉犲犫狉狌犪狉 ２００９ 犃犆犜犃犗犘犜犐犆犃犛犐犖犐犆犃 狔 文章编号： （ ） ０２５３２２３９２００９０２０５０００６ 三极结构四针状纳米犣狀犗场致发射显示器的研究 林志贤 郭太良 　 （福州大学物理与信息工程学院，福建，福州 ３５０００２） 摘要 针对二极式场致发射显示器（ ， ）驱动电压过高的问题，设计制作了前栅极式三极 ｆｉｅｌｄｅｍｉｓｓｉｏｎｄｉｓｌａ ＦＥＤ 　 ｐ ｙ 结构纳米 ＺｎＯ场致发射显示器，并进行了场致发射实验，验证这种结构的可行性。前栅极结构采用喷砂工艺结 合光刻技术，制作出微细的栅孔结构，实现了较低电压的控制。同时对影响场致发射性能的栅极电压、栅孔开口 尺寸和介质层厚度进行了分析讨论。实验结果表明：采用三极结构四针状纳米 ＺｎＯ场致发射显示器具有良好的发 射性能，是一种有前途的场致发射显示器。 关键词 光电子学；场致发射；四针状氧化锌；三极结构；发射性能 　 中图分类号 文献标识码 ： ／ ＴＮ３０５．８ Ａ 犱狅犻 １０．３７８８犃犗０５００ 　 　　　 　 　　　 犜犲狋狉犪狅犱犔犻犽犲犖犪狀狅犣狀犗犉犻犲犾犱犈犿犻狊狊犻狅狀犇犻狊犾犪 狑犻狋犺犜狉犻狅犱犲犛狋狉狌犮狋狌狉犲 狆 狆 狔 犔犻狀犣犺犻狓犻犪狀 犌狌狅犜犪犻犾犻犪狀 　 犵 （ ， ， ， ， ） 犆狅犾犾犲犲狅犘犺狊犻犮狊犪狀犱犐狀狅狉犿犪狋犻狅狀犈狀犻狀犲犲狉犻狀 犉狌狕犺狅狌犝狀犻狏犲狉狊犻狋 犉狌狕犺狅狌 犉狌犻犪狀３５０００２ 犆犺犻狀犪 犵 犳 狔 犳 犵 犵 狔 犼 （ ） ， 犃犫狊狋狉犪犮狋 犜犺犲犱犻狅犱犲犳犻犲犾犱犲犿犻狊狊犻狅狀犱犻狊犾犪 犉犈犇 犺犪狊犺犻犺犱狉犻狏犻狀 狏狅犾狋犪犲 狑犺犻犮犺犫狉犻狀狊狋狉狅狌犫犾犲狋狅犱狉犻狏犻狀 犮犻狉犮狌犻狋． 　 狆狔 犵 犵 犵 犵 犵 ， 犐狀狅狉犱犲狉狋狅狊狅犾狏犲狋犺犻狊 狉狅犫犾犲犿 狑犲犱犲狊犻狀狀狅狉犿犪犾 狉犻犱狋狉犻狅犱犲狊狋狉狌犮狋狌狉犲狋犲狋狉犪狅犱犾犻犽犲狀犪狀狅犣狀犗犉犈犇．犜犺犲犳犻犲犾犱 狆