Hartmann-Shack传感器组装误差分析.pdfVIP

! 第# 卷! 第$ 期 强 激 光 与 粒 子 束 %’( # ，)( $! ! *++, 年$ 月 -./- 01234 56734 6)8 0649.:53 ;367 7=( ，*++,! 文章编号：! ++?@A**（*++, ）+$?@,$?+, !#$%’()*+ 传感器组装误差分析! ，* ，* ，* ，* 戴! 阳 ，! 李发泉 ，! 程学武 ，! 蒋志凌 ，! 龚顺生 （, 中国科学院武汉物理与数学研究所，武汉@A++B ；! *, 中国科学院研究生院，北京 +++#+ ） ! ! 摘! 要：! 分析了-CDEFCGG?7HCIJ 传感器组装误差的种类，导出了旋转误差和倾斜误差的校正矩阵，在进 行波前重构时乘以校正矩阵可以校正对应的组装误差。分析了两种由于组装误差导致的波前重构的相对误差 的公式，并以含K* 个子孔径的圆形-CDEFCGG?7HCIJ 传感器为例进行了数值模拟。研究结果表明：若不对两种 组装误差进行校正，将会限制-CDEFCGG?7HCIJ 传感器测量精度的进一步提高。为-CDEFCGG?7HCIJ 传感器的装 配提供了理论依据。 ! ! 关键词：! -CDEFCGG?7HCIJ 传感器；! 组装误差；! 旋转误差；! 倾斜误差；! 相对重构误差 ! ! 中图分类号：! 9-B+A! ! ! ! 文献标识码：! 6 ! ! 光波波前的检测在很多方面都有重要用途：如激光光束质量的监测与校正、高能激光束的大气传输、精细 加工以及大气参数测量、自适应光学等。波前检测主要通过各种波前传感器来完成，其种类很多，主要有：点衍 射干涉仪（ ［］ ［* ］ 08. ） ，径向剪切干涉仪（47. ） ，-CDEFCGG?7HCIJ 传感器等。其中-CDEFCGG?7HCIJ 传感器具有光 能利用率高、结构紧凑、没有*! 不定性、可用于实时测量等优点，在激光光束的监测与实时校正及其他的光波 波前检测中得到广泛应用。 ! ! 在利用-CDEFCGG?7HCIJ 传感器进行波前测量时，由于各种噪声以及光斑质心算法、波前重构算法等原因， ［A?, ］ 都会对测量精度产生影响。已有很多人对此做了分析和研究 。另一方面，由于-CDEFCGG?7HCIJ 传感器通 常是由选择适当参数的微透镜阵列和::8 及外围控制部分自行组装而成。在组装过程中由于加工精度、装配 过程中的测量精度及各种人为因素的影响，微透镜阵列和::8 感光面之间匹配不可能达到理想状态，由此带 来的误差称为组装误差。组装误差属于系统误差，它不像随机误差那样服从统计规律，可以通过多次测量和后 期数据处理的方式予以消除。对系统误差必须仔细分析其具体来源和规律，才可能将其校正。 ! ! 国内外对组装误差的研究不多。文献［B ］对-CDEFCGG?7HCIJ 传感器的平移误差做了详细的分析。并指出 组装误差可以分为平移误差、旋转误差和倾斜误差A 种。比较而言，平移误差对整个传感器探测面上的影响是 一致的和线性的，相对较为简单。而对旋转误差，由于! ， 坐标相互影响，而且这种影响是非线性的，所以比较 复杂。对于倾斜误差，由于在整个探测面上倾斜的影响是不一致的，而且还分为! ， 两个方向，也比较复杂。 但如果不对这两种误差进行校正，也会限制-CDEFCGG?7HCIJ 传感器测量精度的提高。本文即在文献［B ］的基 础上，对旋转误差和倾斜误差的产生以及对波前测量精度的影响进行分析研究。 -. 旋转误差的分析及数值模拟 ! ! 在利用-CDEFCGG?7HCIJ 传感器测量计算过程中，当存在误差时各量关系如下 ! # !+ $ ! （ ） # + $