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真空科学与技术学报 第29卷第4期
364 CHINESEJOURNALOFVACUUMSCⅡNCEANDTECHNOLOGY 2009年7．8月
反应溅射的PID神经网络控制仿真
王振伟1牟宗信1*刘升光2
(1．大连理工大学三束材料改性实验室大连116024；2．大连理工大学物理与光电工程学院大连116024)
Simulationof DifferentiationNeural
ProportionIntegration
Network
ControlofReactive
Sputtering
WangZhenweil，MuZongxinH，ⅡuShengguan92
andElectronBeams，Dalian 116024，Ch／na；
(1．1aboratoryofMaterialsModificationbylaser，Ion UniversityofTechno／ogy，Da／／an
2．School and
ofPhysicsOptoe／ectron／ctechao／ogyofDUT，Da／／an116024，Ctdna)
Abstract1hereactive the differentiationneural
sputtering，controlledby proportionintegration
was onthebasis ofthe in flowrateon
simulated of model．1he
S．Berg’s effect，thatis，theimpact changesgas
hysteresis
dramaticvariationsin rateand studiedtoachievea film
gaspartial steadygrowth
pressure，depositiontargetvoltage，wag
andtomakethebestuseofthereactive simulatedresultsshowthatthePIDNNcontrollerdoesa insta-
gas．r111e goodjob
thereactive a fast and resistance
bilizing sputtering埘tIlquite convergence，rapidresponsestrong
few曲哪s，including
tointerference．
Reactive effect，PIDNN model
Keywords sputtering，Hysteresiscontrol，S．Berg’s
摘要在反应溅射工艺中，反应气体流苗和沉积速率、反应气体气压、靶电压之问存在迟滞关系。为了保证反应溅射稳
的快速收敛特点和神经网络的非线性逼近能力，适合对非线性反应溅射系统的控制。本文用PID神经网络(PIDNN)控制器对
反应溅射系统进行精
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