小空间环境下运动控制单片机实现.pdfVIP

2009年2月 机床与液压 Feb．2009 第37卷第2期 MACHINETOOLHYDRAULICS Vol-37No．2 高真空小空间环境下运动控制的单片机实现 蒋鹏1，杨长辉2，胡建军3 3．重庆工学院材料科学与工程学院，重庆400050) 摘要：高真空小空间加工环境下，通过单片机实现对工作台面二维运动的控制。利用串口协议单片机与上位机进行通 信，获得步进电机的旋转方向、速度、旋转角度等信号。单片机产生特定频率的脉冲，驱动步进电机按设定速度运动，与 电机相连的丝杠将旋转运动转换为直线运动。该系统具有精度高、响应快的特点。 关键词：真空；运动控制；步进电机；单片机 中图分类号：TP273文献标识码：A 文章编号：1001—3881(2009)2—062—3 TheRealizationofMotionControlBasedonSCMin JIANG Changhui2，HUJianjun’ Peng‘。YANG of Instituteof 400050，China； (1．CollegeBusiness＆Information，ChongqingTechnology，Chongqing of Instituteof 400050，China； 2．CollegeComputerScienceEngineering，ChongqingTechnology，Chongqing ofMaterial Instituteof 3．College ScienceEngineering，ChongqingTechnology，Chongqing400050，China) dimensionmotioncontrolofworkbenchrealizedSCM．SCMcommunicates Abst叫：In is high·vacuum＆small—space。two by with monitor serial and and etc．SCNcreates upper byusing pertprotocolgetsrotatingdirection，srm-,aangle specialfrequencypulse tOdrivemotor screwlinkedwith motorconverts motiontorectilinearmotion．Thehasthe step rotating，leading step rotating system characteristics such髂hJighspeed，rapidresponse． Keywords：Vacuum；Motioncontrol；Stepmotor；SCM 3x 真空是指低于一个大气压(1．013105Pa)的件的加工台面要进行X、y轴二维直线运动，才能加 气体状态。气体压强越低，真空度越高。绝对真空是 工到整个表面。由于空间狭小，工作台面的运动控制 达不到的，目前可达10。2Pa。在这样宽的真空气压必须移动到真空室外，机械传动距离增大；同时真空 范围内，常常把它划分为几个区域：低真空(105— 室狭窄也不便于位移传感器的布置，控制系统由闭环 102Pa)，中真空(102一10“Pa)，高真空(10一一控制变为开环控制，运动控制精度适当降低。因此必 10。Pa)，超高真空(10一一10“2Pa)…。气压发生须设计出适当的控制结构，才能保证高精度的运动和 变化