超磁致伸缩微位移驱动器柔性支撑与导向机构研究.pdfVIP

超磁致伸缩微位移驱动器的柔性支撑与 导向机构研究1 王雷，陈玉华，谭久彬 哈尔滨工业大学电气工程学院，哈尔滨 (150001) E-mail：Hit_wanglei@ 摘 要：超磁致伸缩微位移驱动器的位移的产生是由超磁致伸缩材料 Tb0.27Dy0.73Fe1.95 在磁 场作用下产生的应变经过特殊的输出机构转化而来。本文中将柔性铰链机构引入超磁致微位 移驱动器结构中作为输出机构，使柔性铰链与驱动器一体化。Tb0.27Dy0.73Fe1.95 产生的应力通 过柔性铰链的弹性变形转换成线性位移，避免了两种单独机构组合带来的误差。并利用有限 元分析方法对柔性铰链系统进行静态分析，得到铰链最大的输出力与极限形变。得到的结果 满足超磁致伸缩材料Tb0.27Dy0.73Fe1.95 的形变要求。 关键词：超磁致伸缩，微位移，柔性铰链，有限元 中图分类号：TP216 1. 引言 基于超磁致伸缩材料（Tb0.27Dy0.73Fe1.95 ）及磁致伸缩原理的超磁致伸缩驱动器具有位移 分辨力高、输出力大及位移范围大等特点。所以在超精密定位领域拥有广阔的应用前景，特 别是在纳米加工或纳米测量领域。超磁致伸缩驱动器比其它类型的微位移驱动器，更适合应 用于大负载、大惯量下的纳米级定位。 图1 结构原理图 Fig.1 Principle of structure 但是以弹簧或蝶形弹簧片为位移输出机构的超磁致伸缩微位移驱动器，在轴向存在合成 误差，同时使驱动器体积增大。所以本文将柔性铰链机构引入驱动器的设计中，避免柔性机 构带来的径向，运动保证驱动器的轴向输出特性，同时大大缩小驱动器的体积。 2. 柔性支撑与导向结构原理 超磁致伸缩微位移驱动器的位移输出机构采用柔性支撑与导向结构，即将柔性铰链结构 引入超磁致伸缩微位移驱动器。柔性铰链具有无间隙、位移分辨力高和体积小等特点，属于 1本课题得到高等学校博士学科点专项科研基金（项目编号：20030213019 ）的资助。 -1- 可逆型弹性支撑，十分适合于超磁致伸缩微位移驱动方面应用，超磁致伸缩微位移驱动系统 中的柔性铰链输出机构不需要位移的放大，只 [1~2] 提供弹性变形 。 直圆柔性铰链运动精度较高，是典型常用的铰链类型，其结构如图2 所示。式（1）中 R 为直圆柔性铰链的切割半径，t 为直圆柔性铰链的最小厚度，b 为直圆柔性铰链的宽度。 ⎡ π 12R sinα ⎤ k 1/⎢∫0 Eb(2R t 2R sin α)3 dα ⎥ ⎣ + − ⎦ （1） 当柔性铰链的最小厚度t 远小于柔性铰链的高度h 和切割半径R 时，得简化公式： 2Ebt 5/ 2 k 9πR 1/ 2 （2 ） 图2 直圆柔性铰链形变图 Fig.2 Distortion of flexible hinge 当直圆柔性铰链