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超精密平面研磨加工精度的影响参数 郭隐彪 张 翊 兰劲 吴洪锦 庄司克雄 厦门大学机电工程系 厦门 361005 日本东北大学工学部 摘要 为了取得高的加工精度和合理的研磨轮磨损 对研磨加工过程的加工参数进行分析 通过研究在等 速与不等速加工条件下 平面研磨轮 放射线研磨轮以及螺旋线研磨轮在工件上的加工轨迹及工件在研磨 轮上的滑移轨迹 引入加工精度系数和砂轮磨损系数的概念 描述加工精度与砂轮磨损程度 建立不同结 构研磨轮的加工参数与工件加工精度及研磨轮磨损的关系并分析其对加工精度的影响 本文着重探讨了研 磨轮与工件相对速度变化对加工精度的影响因素 通过三种结构研磨轮不同加工参数的理论分析与实践表 明 优化设计砂轮的结构 合理选择加工参数 可以达到提高研磨加工精度及降低的砂轮磨损的目的 关键词 平面研磨 加工参数 加工精度 砂轮磨损 0 前言 平面研磨技术已被广泛应用于超精密加工中 它可加工出粗糙度Ra 为0.01 0.02ìm 的镜面 诸如量块 光学平面 集成电路的硅基片等硬脆零件最后都是用超精密研磨与抛光得到要求的高质 量表面 其关键是如何提高效率 加工精度 降低成本 根据需要 Syoji Katsuo 提出了一种采用 超微粒金刚石砂轮的垂直布置的超精密平面研磨方法[1] 平面研磨由于研磨轮和工件面接触 磨粒的有效切削数较多 可以得到高的表面精度及加工效 率 同时 为了改善冷却液工作状态 减小加工动压的影响 现在研磨轮多数采用了开槽式结构设 [2 ] 计 主要有 放射线沟槽结构和螺旋线沟槽结构两种形式 针对上述研磨方法 本文首次对此研 磨过程的加工参数进行全面分析 并得出微粒金刚石研磨轮的不同沟槽结构及加工速度变化对加工 面精度的影响 并从理论上解决平面研磨中砂轮加工参数的选择问题 1 平面研磨原理 平面研磨加工原理如图1 所示 为了方便解析砂轮和工件的运动关系 图中设定 M 为砂轮上 一点 N 为被加工工件上的一点 砂轮和工件的基本参数如图中所示 由图1 所示砂轮与工件的运动关系 并通过坐标变换可得到砂轮上M 点在工件上的加工轨迹方 程为 x R cosq (w w )t a cos w t 1 2 1 (1) y R sin q (w w )t a sin w t 1 2 1 式中 q 砂轮加工初始角 w 工件的角速度 w 砂轮的角速度 1 2 a 砂轮和工件的中心距 R 砂轮上M 点的半径 同砂轮的加工轨迹的求解相同 坐标系x oy 上半径为r 的N 点在砂轮上的滑移轨迹方程 x r cosf (w w )t a cosw t 1 2 1 (2) y r sin f (w w )t a sin w t 1 2 1 式中 f 工件加工初始角 w 工件的角速度 w